[发明专利]热处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及对被处理物进行热处理的热处理装置。

背景技术

作为以往的热处理装置，在绝热室内划分出容纳FPD(平板显示器)用玻璃基板等被处理物的热处理部以及设置有加热器和风机的空调部(例如参照日本专利公报第4372806号)。热处理部与空调部通过通道相互连接，热处理装置通过通道将在空调部被加热的空气通过风机送入热处理部，对被处理物进行热处理。

此外，在绝热室的外部具备对热处理部内的空气进行排气的排气管道、将外界空气吸入空调部中的吸气管道以及从排气管道分路并与吸气管道连接的回流管道。

所述热处理装置有时被用于FPD制造工序中的光刻胶及有机物薄膜的预烘、后烘工序。在所述工序中存在下述问题，即：在对由玻璃基板等构成的被处理物进行热处理时，光刻胶等含有的挥发性成分发生气化而产生大量的升华物，该升华物再结晶后会在热处理装置周围飞散或附着在热处理装置周围。

针对所述问题，日本专利公报第4372806号中提出了一种技术，在所述的回流管道中设置可以分解所述升华物的催化剂。

在日本专利公报第4372806号公开的热处理装置的构成中，在回流管道内流通的空气流已经在热处理部对被处理物的热处理做出贡献，因此处于温度低于催化剂的活化温度的状态。因此，在日本专利公报第4372806号公开的装置中，为将催化剂加热到活化温度，除了在所述空调部设置的加热器以外，还在回流管道中设置有加热器。

此外，在日本专利公报第4372806号的热处理装置中，将因在热处理部进行对流而处于风速减弱状态下的空气通过排气管道和回流管道送回吸气管道，因此流入回流管道内的空气流处于在热处理部进行对流后风速减弱的状态。因此，在日本专利公报第4372806号中，除了在所述空调部设置的风机以外，还在回流管道中设置了风机，以保证足够的空气通过催化剂。

在包括所述的日本专利公报第4372806号的现有技术中，需要另外设置催化剂活化用的加热器，因此存在装置大型化、成本变高的问题。此外，还需要另外设置回流用的风机，这也会导致装置大型化、成本变高的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种热处理装置，该热处理装置使催化剂活化用的加热器和回流用的风机与热处理用的加热器和风机可以共用，从而可以抑制装置的大型化和成本的增加。

本发明提供一种热处理装置，包括绝热室，该绝热室具有容纳被处理物的热处理部、设置有加热器和风机的空调部以及连通所述热处理部和所述空调部的通道，所述热处理装置通过一边借助所述通道使空气在所述热处理部和所述空调部之间循环一边对所述空气进行加热来对所述被处理物进行热处理，其特征在于，所述热处理装置还包括：回流通道，从所述风机的正压部到负压部形成所述空调部的捷径；以及催化剂部，设置在所述空调部的比设置有所述加热器的位置更靠下游一侧的部分，用于分解对所述被处理物进行热处理时从该被处理物产生的升华物。

在所述结构中，空调部内的空气通过回流通道返回空调部内。该空气被加热器加热后，通过催化剂部。因此，用于使催化剂活化的加热器与热处理用的加热器可以共用。

另外，在所述结构中，回流通道从风机的正压部到负压部形成空调部的捷径。因此，回流用的风机与热处理用的风机可以共用。

按照本发明，催化剂活化用的加热器和回流用的风机与热处理用的加热器和热处理用的风机可以共用，因此可以抑制装置的大型化和成本的增加。

附图说明

图1是本发明一个实施方式的热处理装置的示意图。

图2是本发明的另一个实施方式的热处理装置的示意图。

具体实施方式

下面参照图1对本发明实施方式的热处理装置的概况进行说明。热处理装置1A包括绝热室2，由绝热壁围绕形成绝热室2的空间。绝热室2具有热处理炉(热处理部)20、空调部23、以及连通热处理炉20和空调部23的通道(后述的送风通道24和返回通道25)。

绝热室2的内部由隔板21分隔。在绝热室2内部的空间中，所述热处理炉20配置在隔板21左侧的部分，所述空调部23配置在隔板21右侧的部分。在隔板21上形成有开口22，后述的经回流通道5返回空调部23内的空气流通过该开口22与流过返回通道25的空气流汇合。

热处理炉20为筒形。在热处理炉20的侧面上贯穿设置有多个未图示的小排气孔，热处理炉20内部的空气通过该排气孔排放到返回通道25中。