[发明专利]一种多晶硅铸锭炉无效
| 申请号: | 201110062856.8 | 申请日: | 2011-03-16 |
| 公开(公告)号: | CN102127809A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
| 发明(设计)人: | 陆国富 | 申请(专利权)人: | 常州市万阳光伏有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张利强 |
| 地址: | 213115 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、支架,所述炉体固定在支架上,所述炉体内设置有支撑板,所述支撑板上设置有坩埚,所述坩埚外设置有发热器,所述发热器外扣罩有反射屏,所述炉体与反射屏之间填有绝热保湿材料,所述炉体包括上炉体、下炉体,所述上炉体、下炉体之间连接有升降装置,所述上炉体一端设置有真空接口。本发明通过升降装置控制下炉体上升或下降,能方便地放入或取出装有多晶硅锭的坩埚,有效地保护操作人员的安全,同时,采用自上向下厚度渐增的石墨电阻发热器,提高生产多晶硅铸锭的速度和质量,简化炉体结构,延长设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、支架(1),所述炉体固定在支架(1)上,所述炉体内设置有支撑板(6),所述支撑板(6)上设置有坩埚(4),其特征在于:所述炉体包括上炉体(2)、下炉体(3),所述上炉体(2)、下炉体(3)之间连接有升降装置,所述坩埚(4)外设置有发热器(5),所述发热器(5)外扣罩有反射屏(8)。
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