[发明专利]一种多晶硅铸锭炉无效
| 申请号: | 201110062856.8 | 申请日: | 2011-03-16 |
| 公开(公告)号: | CN102127809A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
| 发明(设计)人: | 陆国富 | 申请(专利权)人: | 常州市万阳光伏有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张利强 |
| 地址: | 213115 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、支架(1),所述炉体固定在支架(1)上,所述炉体内设置有支撑板(6),所述支撑板(6)上设置有坩埚(4),其特征在于:所述炉体包括上炉体(2)、下炉体(3),所述上炉体(2)、下炉体(3)之间连接有升降装置,所述坩埚(4)外设置有发热器(5),所述发热器(5)外扣罩有反射屏(8)。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述升降装置设置在支架(1)上,包括底座(9)、丝杆(11)、侧固座(10),所述底座(9)与支架(1)固定为一体,底座(9)内设有电机和连轴器,所述侧固座(10)设置在下炉体(3)上,所述底座(9)与侧固座(10)通过丝杆(11)连接。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述升降装置为三个,呈三角分布在炉体周边。
4.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述上炉体(2)与下炉体(3)周边设有卡扣(12)。
5.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述上炉体(2)上设置有顶盖(13),所述顶盖(13)上设置有保护气体进口(14)。
6.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述上炉体(2)一端设置有真空接口(15)。
7.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述发热器(5)为石墨温梯发热器,发热器(5)的电阻的厚度自上而下渐增。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州市万阳光伏有限公司,未经常州市万阳光伏有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110062856.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





