[发明专利]背面异物检测方法、背面异物检测装置以及涂布装置

摘要

本发明提供一种背面异物检测方法、背面异物检测装置以及涂布装置，在浮动方式的无旋转涂布法中高精度地可靠检测有可能使基板上表面与狭缝喷嘴摩擦而造成损伤的有害背面异物。该抗蚀剂涂布装置具备背面异物检测装置，该背面异物检测装置能够在比狭缝喷嘴更靠基板输送方向即X方向上游侧可靠地检测有害即有可能使基板G上表面与狭缝喷嘴摩擦而造成损伤的背面异物Q。并且，响应于背面异物检测装置检测到这种有害背面异物Q时产生的警报信号WS，主控制部通过喷嘴升降机构使狭缝喷嘴立即上升移动，由此狭缝喷嘴能够躲避即避免摩擦或者碰撞基板G的凸起部分GQ，从而防止狭缝喷嘴受损伤。

主权项

一种背面异物检测方法，用于在涂布装置中在比长条状喷嘴更靠基板输送方向上游侧的位置处检测附着在上述基板的背面且对上述长条状喷嘴有害的有害背面异物，其中，上述涂布装置输送被处理基板，使被处理基板以规定的浮动高度通过混合设置有多个喷出口和多个吸引口的浮动区域，利用配置在上述浮动区域上方的长条状喷嘴向通过该长条状喷嘴下方的上述基板提供处理液来在上述基板上形成上述处理液的涂布膜，该背面异物检测方法具有以下步骤：第一步骤，在光发射部与光接收部之间发射和接收从通过上述浮动区域的上述基板的上表面掠过而水平地横穿的光束，利用上述光接收部获取表示上述光束的受光量的受光量信号，其中，隔着浮动支承台而在该浮动支承台的两侧相向地配置上述光发射部与上述光接收部；以及第二步骤，根据上述受光量信号，将上述光束的受光量的波形在时间轴上呈倒山形的轮廓作为监视对象，在上述光束的受光量的波形中检测到尺寸大于规定的基准尺寸的倒山形轮廓时，产生表示检测到上述有害背面异物的警报信号。