[发明专利]背面异物检测方法、背面异物检测装置以及涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在浮动支承台上对被处理基板涂布处理液的涂布装置，特别是涉及一种用于检测附着于基板背面的不期望的异物的背面异物检测方法以及背面异物检测装置。

背景技术

广泛使用一种无旋转涂布法，该无旋转涂布法在LCD等平板显示器(FPD)的制造工艺中的光刻步骤中，使用具有狭缝状的喷射口的纵长状狭缝喷嘴(slit nozzle)对被处理基板(玻璃基板等)上涂布抗蚀剂液。

作为这种无旋转涂布法的一个方式，已知如下浮动方式：对用于支承基板的支承台上安装基板浮动机构，在该浮动支承台上使基板在空中浮动以在水平的一个方向(支承台长度方向)上输送基板，利用在输送途中的规定位置上设置于支承台上方的狭缝喷嘴朝向通过喷嘴正下方的基板来带状地喷射抗蚀剂液，由此从基板上的一端至另一端涂布抗蚀剂液。

在上述浮动方式的无旋转涂布法中，当以设定的膜厚均匀地在基板上形成抗蚀剂液的涂布膜时，要求使设置于狭缝喷嘴的喷射口与基板之间的通常100μm左右的微小间隙精确地维持为设定值或者接近设定值。

为了满足该要求条件，采用浮动方式的无旋转涂布法的抗蚀剂涂布装置并非在浮动支承台的大致整个区域内以规定密度设置多个喷出高压或者正压的气体例如空气的喷出口，而是在浮动支承台上设定为在狭缝喷嘴正下方以及其前后的区域的涂布区域内混合配置利用负压吸进空气的吸引口和喷出口。并且，在该涂布区域内，针对通过该涂布区域的基板，得到从喷出口施加的垂直向上的压力以及从吸引口施加的垂直向下的压力的平衡，精确地控制对基板施加的浮动压力，使基板的浮动高度与设定值(通常50μm以下)一致(例如专利文献1)。

专利文献1：日本特开2007-190483号

发明内容

发明要解决的问题

在上述浮动方式的无旋转涂布法中，也与其它无旋转涂布法同样地，紧接在进行涂布处理之前的基板上有时会附着异物，在狭缝喷嘴的前端(喷射口)与异物或者基板上表面摩擦时，有时狭缝喷嘴受损伤。当狭缝喷嘴的喷射口稍微损伤时，带状喷射流变得不均匀，而直接影响到涂布膜的膜质降低。狭缝喷嘴的价格非常昂贵，不能以低成本简单地进行其部件更换，因此提前检测附着于基板的异物成为重要问题。

基板上的异物有两种，即附着于基板表面(上表面)的表面异物以及附着于基板背面(下表面)的背面异物。其中，关于表面异物，使用光传感器根据光束的遮挡量或者受光量减少量的大小来能够容易地检测有害(即有可能与狭缝喷嘴直接摩擦而造成损伤)异物，其中，上述光传感器使光束以掠过基板上表面的方式横贯。因而，能够对应于以往的异物检测装置。

但是，背面异物在浮动方式的无旋转涂布法中较难对付。即，如果是利用将基板载置在支承台上来吸引固定的方式的无旋转涂布法，则会将由于背面异物而产生的基板凸起同样视为表面异物，将上述光束的遮挡量或者受光量减少量与规定阈值进行比较，从而能够容易地检测有害(即有可能使基板上表面与狭缝喷嘴摩擦而造成损伤)异物。

然而，在浮动方式的无旋转涂布法中，因为由基板的浮动输送引起的基板的抖动、由周围的振动引起的噪声成分以接近1的SN比混合到光传感器的输出信号，所以无法通过将光束的遮挡量或者受光量减少量与规定阈值进行比较的以往技术方法来高精度地提取(检测)有害(有可能使基板上表面与狭缝喷嘴摩擦而造成损伤)背面异物。

本发明是为了解决上述以往技术的问题点而完成的，提供一种背面异物检测方法、背面异物检测装置以及使用它们的涂布装置，在浮动方式的无旋转涂布法中能够高精度地可靠地检测有可能使基板上表面与长条状喷嘴摩擦而造成损伤的有害背面异物。

用于解决问题的方案