[发明专利]一种高灵敏度二维风速风向传感器

摘要

本发明公开了一种高灵敏度二维风速风向传感器，包括四个基本单元和一个硅衬底，每个基本单元包括加热电阻、测温电阻、第一外梁、第二外梁、第一内梁、第二内梁、第一焊接块、第二焊接块、第三焊接块和第四焊接块，加热电阻和测温电阻位于同一水平面，加热电阻连接在第一外梁前部的顶端和第二外梁前部的顶端之间，测温电阻连接在第一内梁前部的顶端和第二内梁前部的顶端  之间，第一外梁前部、第二外梁前部、第一内梁前部和第二内梁前部均悬空；四个基本单元中的加热电阻在硅衬底上呈二维对称分布；四个基本单元中的测温电阻在硅衬底上呈二维对称分布。该结构的传感器结构简单、体积小，并且在测量风速风向时，具有高灵敏度和低功耗。

主权项

一种高灵敏度二维风速风向传感器，其特征在于，包括四个基本单元和一个硅衬底（1），四个基本单元分布在硅衬底（1）上；所述的每个基本单元包括加热电阻（2）、测温电阻（3）、第一外梁（4）、第二外梁（5）、第一内梁（6）、第二内梁（7）、第一焊接块（8）、第二焊接块（9）、第三焊接块（10）和第四焊接块（11），第一焊接块（8）、第二焊接块（9）、第三焊接块（10）和第四焊接块（11）依次连接在硅衬底（1）的上表面，加热电阻（2）和测温电阻（3）均由金属制成，加热电阻（2）和测温电阻（3）位于同一水平面，并且相互平行，加热电阻（2）的长度大于测温电阻（3）的长度，加热电阻（2）和测温电阻（3）具有同一中线；与加热电阻（2）相比，测温电阻（3）靠近硅衬底（1）的边缘；加热电阻（2）的一端与第一外梁前部（41）的顶端连接，加热电阻（2）的另一端与第二外梁前部（51）的顶端连接；测温电阻（3）的一端与第一内梁前部（61）的顶端连接，测温电阻（3）的另一端与第二内梁前部（71）的顶端连接；第一外梁后部（42）的尾端与第一焊接块（8）连接，第二外梁后部（52）的尾端与第四焊接块(11)连接，第一内梁后部（62）的尾端与第二焊接块（9）连接，第二内梁后部(72)的尾端与第三焊接块（10）连接；第一外梁后部（42）、第二外梁后部（52）、第一内梁后部（62）和第二内梁后部（72）均与硅衬底（1）相触，第一外梁前部（41）、第二外梁前部（51）、第一内梁前部（61）和第二内梁前部（71）均悬空；所述的四个基本单元中的加热电阻（2）在硅衬底（1）上呈二维对称分布；所述的四个基本单元中的测温电阻（3）在硅衬底（1）上呈二维对称分布。