[发明专利]一种高灵敏度二维风速风向传感器有效
| 申请号： | 201110031990.1 | 申请日： | 2011-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN102175884A | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 秦明;胡尔同;顾飞 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/10 | 分类号： | G01P5/10;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 二维 风速 风向 传感器 | ||
1.一种高灵敏度二维风速风向传感器，其特征在于，包括四个基本单元和一个硅衬底（1），四个基本单元分布在硅衬底（1）上；
所述的每个基本单元包括加热电阻（2）、测温电阻（3）、第一外梁（4）、第二外梁（5）、第一内梁（6）、第二内梁（7）、第一焊接块（8）、第二焊接块（9）、第三焊接块（10）和第四焊接块（11），第一焊接块（8）、第二焊接块（9）、第三焊接块（10）和第四焊接块（11）依次连接在硅衬底（1）的上表面，加热电阻（2）和测温电阻（3）均由金属制成，加热电阻（2）和测温电阻（3）位于同一水平面，并且相互平行，加热电阻（2）的长度大于测温电阻（3）的长度，加热电阻（2）和测温电阻（3）具有同一中线；与加热电阻（2）相比，测温电阻（3）靠近硅衬底（1）的边缘；加热电阻（2）的一端与第一外梁前部（41）的顶端连接，加热电阻（2）的另一端与第二外梁前部（51）的顶端连接；测温电阻（3）的一端与第一内梁前部（61）的顶端连接，测温电阻（3）的另一端与第二内梁前部（71）的顶端连接；第一外梁后部（42）的尾端与第一焊接块（8）连接，第二外梁后部（52）的尾端与第四焊接块(11)连接，第一内梁后部（62）的尾端与第二焊接块（9）连接，第二内梁后部(72)的尾端与第三焊接块（10）连接；第一外梁后部（42）、第二外梁后部（52）、第一内梁后部（62）和第二内梁后部（72）均与硅衬底（1）相触，第一外梁前部（41）、第二外梁前部（51）、第一内梁前部（61）和第二内梁前部（71）均悬空；
所述的四个基本单元中的加热电阻（2）在硅衬底（1）上呈二维对称分布；所述的四个基本单元中的测温电阻（3）在硅衬底（1）上呈二维对称分布。
2.按照权利要求1所述的高灵敏度二维风速风向传感器，其特征在于，所述的第一外梁（4）、第二外梁（5）、第一内梁（6）、第二内梁（7）均由金属制成。
3.按照权利要求1所述的高灵敏度二维风速风向传感器，其特征在于，所述的第一焊接块（8）、第二焊接块（9）、第三焊接块（10）、第四焊接块（11）表面均淀积一层金。
4.按照权利要求1所述的高灵敏度二维风速风向传感器，其特征在于，所述的加热电阻（2）和测温电阻（3）均由铂或钨制成。
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