[发明专利]一种复合型光子筛无效
| 申请号： | 201110025565.1 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102053295A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 唐燕;胡松;赵立新;严伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合型光子筛，含有透明介质、金属层及微细结构，在透明介质上镀上金属层，并在金属层上刻蚀出所需的微细结构，沿透明介质的半径由内至外的方向以微细加工最小线宽为依据，将透明介质划分为不同区域，所述区域包括波带区、第一个区域及第二个区域，第一个区域和第二个区域都具有多组微细结构，在第一个区域的两组微细结构之间设有波带区，每组微细结构是由不同半径的环带状分布、不同半径的多个小孔组成，每个区域中设有小孔孔径与对应环带带宽之间具有一比值k，波带区最外环带宽等于微细加工最小加工尺寸线宽，波带区最内环半径为其最外环半径的0.3～0.5倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合型 光子 | ||
【主权项】：
一种复合型光子筛，其特征在于，所述光子筛含有透明介质、金属层及微细结构，在透明介质上镀上金属层，并在金属层上刻蚀出所需的微细结构，沿透明介质的半径由内至外的方向以微细加工最小线宽为依据，将透明介质划分为不同区域，所述区域包括波带区、第一个区域及第二个区域，第一个区域和第二个区域都具有多组微细结构，在第一个区域的两组微细结构之间设有波带区，每组微细结构是由不同半径的环带状分布、不同半径的多个小孔组成，每个区域中设有小孔孔径与对应环带带宽之间具有一比值k，波带区最外环带宽等于微细加工最小加工尺寸线宽，波带区最内环半径为其最外环半径的0.3～0.5倍。
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