[发明专利]一种复合型光子筛

权利要求书

1.一种复合型光子筛，其特征在于，所述光子筛含有透明介质、金属层及微细结构，在透明介质上镀上金属层，并在金属层上刻蚀出所需的微细结构，沿透明介质的半径由内至外的方向以微细加工最小线宽为依据，将透明介质划分为不同区域，所述区域包括波带区、第一个区域及第二个区域，第一个区域和第二个区域都具有多组微细结构，在第一个区域的两组微细结构之间设有波带区，每组微细结构是由不同半径的环带状分布、不同半径的多个小孔组成，每个区域中设有小孔孔径与对应环带带宽之间具有一比值k，波带区最外环带宽等于微细加工最小加工尺寸线宽，波带区最内环半径为其最外环半径的0.3～0.5倍。

2.根据权利要求1所述的复合型光子筛，其特征在于，波带区为环状波带。

3.根据权利要求1所述的复合型光子筛，其特征在于，每个区域对应的最外环小孔直径，大于或等于微细加工最小线宽。

4.根据权利要求1所述的复合型光子筛，其特征在于，每个区域内，小孔所处环带应间隔k/2取整个奇数环带或偶数环带。

5.根据权利要求1所述的复合型光子筛，其特征在于，在透明介质的不同区域具有一阶贝塞尔函数J₁(·)，设J₁(·)为及小孔中心所处环带奇偶性相反。

6.根据权利要求1所述的复合型光子筛，其特征在于，每个小孔中心与透明介质中心的距离满足公式f为光子筛焦距，λ为所使用光波波长，n为1/2的偶数倍，则小孔中心位于偶数环带；n为1/2的奇数倍，则小孔中心位于奇数环带。

7.根据权利要求6所述的复合型光子筛，其特征在于，小孔对应环带带宽为

8.根据权利要求6所述的复合型光子筛，其特征在于，每个小孔直径为k为小孔孔径与对应环带带宽之间的比值。

9.根据权利要求6所述的复合型光子筛，其特征在于，每个环带上的小孔数目为f(r_n)是随r_n变化的密度函数。