[发明专利]多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置及其方法无效

专利信息
申请号: 201110004211.9 申请日: 2011-01-04
公开(公告)号: CN102595800A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 费耀祺 申请(专利权)人: 鸿骐新技股份有限公司
主分类号: H05K3/30 分类号: H05K3/30
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 郑特强;黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置及其方法,其中该方法包括以下步骤:提供一用以存放基板的暂存区;提供一定位区,利用一移动平台将所述基板由该暂存区移动至该定位区;利用一视觉装置撷取所述基板的影像,并分析所述基板的偏移值;利用一搬移定位装置依据每一基板的偏移值进行补正后依序吸取位于该定位区上的所述基板,以补正每一基板的偏移值;以及利用该搬移定位装置将上述经过定位的所述基板高精度地且同步地放置于一载板上,使固定于该载板上的两两基板之间具有高精度的相对位置。
搜索关键词: 多基板 高精度 同步 贴板 视觉 定位 装置 及其 方法
【主权项】:
一种多基板的高精度的同步贴板的视觉定位方法,其特征在于,用以将多个基板放置于一载板,该同步贴板的视觉定位方法包括以下步骤:提供一用以存放基板的暂存区,并将多个基板传送至该暂存区;提供一定位区,所述基板由该暂存区被移动至该定位区,其中利用一移动平台将所述基板由该暂存区移动至该定位区;利用一视觉装置撷取所述基板的影像,并分析所述基板的偏移值,其中该移动平台将所述基板运载至该视觉装置的下方;利用一搬移定位装置依据每一基板的偏移值进行补正后吸取位于该定位区上的所述基板,其中该视觉装置设于该搬移定位装置上,该搬移定位装置依据每一基板的偏移值改变其吸取角度及位置,以补正每一基板的偏移值;以及利用该搬移定位装置将上述经过定位的所述基板高精度地且同步地放置于该载板上,使固定于该载板上的两两基板之间具有高精度的相对位置。
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