[发明专利]多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置及其方法

权利要求书

1.一种多基板的高精度的同步贴板的视觉定位方法，其特征在于，用以将多个基板放置于一载板，该同步贴板的视觉定位方法包括以下步骤：

提供一用以存放基板的暂存区，并将多个基板传送至该暂存区；

提供一定位区，所述基板由该暂存区被移动至该定位区，其中利用一移动平台将所述基板由该暂存区移动至该定位区；

利用一视觉装置撷取所述基板的影像，并分析所述基板的偏移值，其中该移动平台将所述基板运载至该视觉装置的下方；

利用一搬移定位装置依据每一基板的偏移值进行补正后吸取位于该定位区上的所述基板，其中该视觉装置设于该搬移定位装置上，该搬移定位装置依据每一基板的偏移值改变其吸取角度及位置，以补正每一基板的偏移值；以及

利用该搬移定位装置将上述经过定位的所述基板高精度地且同步地放置于该载板上，使固定于该载板上的两两基板之间具有高精度的相对位置。

2.如权利要求1所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位方法，其特征在于，该搬移定位装置具有一可调的吸取头，在利用该搬移定位装置吸取所述基板的步骤中，该吸取头进行以下步骤：

步骤一：该吸取头先依据所述基板的其中之一的偏移值调整其吸取角度及位置；

步骤二：该吸取头向下以吸取完成补正该偏移值的基板；

步骤三：该吸取头与被吸取的该基板向上并移动至正确角度与正确位置；

步骤四：再依上述步骤一至步骤三，逐一吸取所述基板中的其他基板。

3.如权利要求2所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位方法，其特征在于，该视觉装置为一种上视觉检测装置，在利用一个设于该定位区的视觉装置撷取所述基板的影像的步骤中，该视觉装置用以检视所述基板上的定位标志的影像。

4.如权利要求3所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位方法，其特征在于，在利用一移动平台将所述基板由该暂存区移动至该定位区的步骤中，所述移动平台提供有真空吸力，以将基板稳定地置放于该移动平台上。

5.如权利要求3所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位方法，其特征在于，在所述步骤四中，控制两相邻的基板间的间距而进行补正。

6.如权利要求5所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位方法，其特征在于，该搬移定位装置的吸取面为凹凸面。

7.一种多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置，其特征在于，用以将多个基板放置于一载板，该视觉定位装置包括：

一架体；

一设于该架体上的暂存区，所述基板暂存于该暂存区；

一设于该架体上的定位区，所述基板通过一移动平台自该暂存区被移动至该定位区；

一搬移定位装置，其可移动地设置于该架体上，用以依据每一基板的偏移值进行补正后吸取位于该定位区上的所述基板，其中该搬移定位装置依据每一基板的偏移值改变其吸取角度及位置，以补正每一基板的偏移值；

一设于该搬移定位装置的视觉装置，其中该移动平台将所述基板运载至该视觉装置的下方；以及

承放于该架体上的该载板，藉此，该搬移定位装置将所述基板高精度地且同步地放置于该载板上，使固定于该载板上的两两基板之间具有高精度的相对位置。

8.如权利要求7所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置，其特征在于，该搬移定位装置具有一可调的吸取头，该视觉装置为一种上视觉检测装置，该视觉装置用以检视所述基板上的定位标志的影像。

9.如权利要求8所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置，其特征在于，该移动平台提供有真空吸力。

10.如权利要求7所述的多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置，其特征在于，该搬移定位装置的吸取面为凹凸面。