[发明专利]用于搬运晶片的搬运设备

摘要

用于在处理晶片时搬运晶片的搬运设备具有如下特征：带有用于容纳晶片的平面容纳侧的载体；在容纳侧上相对于容纳侧突起的、尤其格状的格栅结构；将格栅结构相对于载体密封覆盖的、柔韧的盖，用于将晶片固定在载体；其中通过盖和载体形成边界的格栅空间能够被施加负压，其特征在于，格栅结构和带有容纳侧的盖形成尤其槽状的容纳空间，用于容纳设置在晶片上的、相对于晶片容纳侧突起的容纳结构。

主权项

一种用于在处理晶片（1）时搬运晶片（1）的搬运设备（5），具有如下特征：带有用于容纳晶片（1）的平面容纳侧（11）的载体（6），在容纳侧（11）上相对于容纳侧（11）突起的、尤其格状的格栅结构（8），将格栅结构（8）相对于载体（6）密封覆盖的、柔韧的盖（7），用于将晶片（1）固定在载体（6）上，其中通过盖（7）和载体（6）形成边界的格栅空间（13）能够被施加负压，其特征在于，格栅结构（8）和带有容纳侧（11）的盖（7）形成尤其槽状的容纳空间（12），用于容纳设置在晶片（1）上的、相对于晶片容纳侧（2）突起的容纳结构（4）。