[发明专利]用于搬运晶片的搬运设备

权利要求书

1.一种用于在处理晶片（1）时搬运晶片（1）的搬运设备（5），具有如下特征：

带有用于容纳晶片（1）的平面容纳侧（11）的载体（6），

在容纳侧（11）上相对于容纳侧（11）突起的、尤其格状的格栅结构（8），

将格栅结构（8）相对于载体（6）密封覆盖的、柔韧的盖（7），用于将晶片（1）固定在载体（6）上，其中通过盖（7）和载体（6）形成边界的格栅空间（13）能够被施加负压，

其特征在于，

格栅结构（8）和带有容纳侧（11）的盖（7）形成尤其槽状的容纳空间（12），用于容纳设置在晶片（1）上的、相对于晶片容纳侧（2）突起的容纳结构（4）。

2.根据权利要求1所述的搬运设备（5），其特征在于，格栅结构（8）环形地构建，尤其圆环形地构建，优选格栅结构（8）的环宽度B与直径D的比例小于1:5、尤其是小于1:10、优选小于1:15。

3.根据上述权利要求之一所述的搬运设备（5），其特征在于，盖（7）尤其是附着性膜，最好是凝胶膜。

4.根据上述权利要求之一所述的搬运设备（5），其特征在于，仅仅在晶片（1）的区域或者在突起结构尤其是在晶片（1）的边缘处进行所述的固定。