[发明专利]光谱纯度滤光片有效
| 申请号： | 201080062731.9 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102725697A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | A·亚库宁;V·克里夫特苏恩;V·梅德韦杰夫;A·考登特索夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B15/00;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种光谱纯度滤光片，包括：材料实体，多个孔延伸通过所述材料实体。孔布置成抑制具有第一波长的辐射并允许具有第二波长的辐射的至少一部分透射通过所述孔。第二波长辐射比第一波长辐射短。所述材料实体由钨-钼合金或钼-铼合金或钨-铼合金或钨-钼-铼合金形成。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 纯度 滤光 | ||
【主权项】：
一种光谱纯度滤光片，包括：材料实体，多个孔延伸通过所述材料实体；孔布置成抑制具有第一波长的辐射并允许具有第二波长的辐射的至少一部分透射通过所述孔，第二波长辐射比第一波长辐射短；所述材料实体由钨‑钼合金或钼‑铼合金或钨‑铼合金或钨‑钼‑铼合金形成。
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