[发明专利]具有定位结构体的光波导基板及其制造方法、以及光电混合基板的制造方法

摘要

本发明提供一种在光波导基板以及光电混合基板中能够削减部件和简化工序并且以高位置精确度和高成品率进行制作的、设置在光波导和光连接部的定位结构体、以及使用了它的基板的制造方法。在光波导基板中，与将反射镜部件图案形成在包覆层(11)上的任意位置上同时地，在反射镜图案(13)外周部的任意位置上分别形成具有凸形形状的定位用图案(14)，在将反射镜图案(13)加工成前端渐细状并进行了定位的状态下，在反射镜图案的倾斜部(22)和定位用图案(14)表面形成金属膜。并且，在将定位用图案(14)与光掩模(16)进行了定位的状态下，在与反射镜图案(13)相邻接的包覆层(11)上形成布线芯图案(20)。

主权项

一种光波导基板的制造方法，该光波导基板具有光波导层，该光波导层包括下述部分而构成：第一包覆层，其形成在基板上；配线芯，其形成在该第一包覆层上；反射镜部，其将从上述基板的上方输入输出的光的路径变换为与上述基板平行的方向并与上述配线芯进行光连接；以及以覆盖该反射镜部及该配线芯的周围的方式形成的第二包覆层，该光波导基板的制造方法的特征在于，其具有以下工序：在上述第一包覆层上同时形成用于形成上述反射镜部的反射镜图案以及至少两个定位用图案；将上述反射镜图案的一个侧面加工成前端渐细状，并形成具有前端渐细部的反射镜图案；以及使用具备以与上述定位用图案相吻合的方式设置的第一开口部和以使上述反射镜图案的至少前端渐细部露出的方式设置的第二开口部而形成的掩模部件，在将上述定位用图案与上述第一开口部相吻合地进行了定位的状态下，在包括通过上述第二开口部而露出的上述前端渐细部的上述反射镜图案的表面形成金属膜。