[发明专利]具有定位结构体的光波导基板及其制造方法、以及光电混合基板的制造方法

权利要求书

1.一种光波导基板的制造方法，该光波导基板具有光波导层，该光波导层包括下述部分而构成：第一包覆层，其形成在基板上；配线芯，其形成在该第一包覆层上；反射镜部，其将从上述基板的上方输入输出的光的路径变换为与上述基板平行的方向并与上述配线芯进行光连接；以及以覆盖该反射镜部及该配线芯的周围的方式形成的第二包覆层，该光波导基板的制造方法的特征在于，

其具有以下工序：

在上述第一包覆层上同时形成用于形成上述反射镜部的反射镜图案以及至少两个定位用图案；

将上述反射镜图案的一个侧面加工成前端渐细状，并形成具有前端渐细部的反射镜图案；以及

使用具备以与上述定位用图案相吻合的方式设置的第一开口部和以使上述反射镜图案的至少前端渐细部露出的方式设置的第二开口部而形成的掩模部件，在将上述定位用图案与上述第一开口部相吻合地进行了定位的状态下，在包括通过上述第二开口部而露出的上述前端渐细部的上述反射镜图案的表面形成金属膜。

2.一种光波导基板的制造方法，其特征在于，具有以下工序：

准备基板；

在上述基板上形成第一包覆层；

在上述第一包覆层上设置由感光性聚合物材料构成的第一芯部件；

对上述第一芯部件进行加工，在上述第一包覆层上同时形成反射镜图案和定位用图案，该反射镜图案用于形成将从上述基板的上方输入输出的光的路径变换为与上述基板平行的方向的反射镜部，该定位用图案具有至少两个凸形状；

将上述反射镜图案的一个侧面加工成前端渐细状，并形成具有前端渐细部的反射镜图案；

使用具备以与上述定位用图案相吻合的方式设置的第一开口部和以使上述反射镜图案的至少前端渐细部露出的方式设置的第二开口部而形成的掩模部件，在将上述定位用图案与上述第一开口部相吻合地进行了定位的状态下，在包括通过上述第二开口部而露出的上述前端渐细部的上述反射镜图案的表面形成金属膜；

在包含上述第一包覆层、上述反射镜图案以及上述定位用图案的表面上，设置与构成上述第一包覆层的材料相比折射率高且由感光性聚合物材料构成的第二芯部件；

利用芯图案形成用掩模部件，在将上述定位用图案与该芯图案形成用掩模部件进行了定位的状态下对上述第二芯部件进行加工，来在上述第一包覆层上形成邻接于上述反射镜图案的端部的配线芯；以及

以覆盖上述第一包覆层和上述配线芯的方式形成第二包覆层，形成包括上述第一包覆层和上述第二包覆层以及由它们包围形成的上述配线芯的光波导层。

3.根据权利要求1所述的光波导基板的制造方法，其特征在于，

上述反射镜图案的前端渐细部形成在与上述配线芯相对置侧的一个侧面上。

4.根据权利要求1所述的光波导基板的制造方法，其特征在于，

上述定位用图案形成在上述反射镜图案与上述基板的端部之间的区域内。

5.根据权利要求1所述的光波导基板的制造方法，其特征在于，

构成上述第一包覆层和上述第二包覆层、反射镜图案的部件、以及构成配线芯的部件分别是在紫外光波长带中具有吸收峰的聚合物材料，构成上述第一包覆层和上述第二包覆层、反射镜图案的部件、以及构成配线芯的部件分别通过使用了上述紫外光带的波长光进行的光刻法而形成图案。

6.根据权利要求1所述的光波导基板的制造方法，其特征在于，

具有上述第一开口部和上述第二开口部的掩模部件由厚度为0.3mm以下的薄膜金属加工基板制作。

7.根据权利要求1所述的光波导基板的制造方法，其特征在于，

分别同时地在位于上述定位用图案的上部的上述第二包覆层上形成具有凸形状的第二定位用图案、在位于上述反射镜图案的上部的上述第二包覆层上形成第二反射镜图案，

在将具有以与上述第二定位用图案相吻合的方式形成的开口部的第二掩模部件进行了定位的状态下，在上述第二反射镜图案上形成有前端渐细部的第二反射镜图案的表面形成金属膜，并且在与上述第二反射镜图案相邻接的包覆层上层叠多层第二配线芯。