[发明专利]湿式处理装置以及湿式处理方法

摘要

一种湿式处理装置，其将被处理基板保持在工作台上，并使上述工作台旋转从而进行湿式处理。上述被处理基板通过其中心从上述工作台的旋转中心偏离，并且使用向该被处理基板的背面排放惰性气体的伯努利吸盘将其保持在上述工作台上，从而随着上述工作台的旋转，上述被处理基板偏心旋转。在上述工作台内的旋转轴部分设置有用于上述伯努利吸盘的第一气体供给路，在上述工作台中还设置有与上述第一气体供给路连通，且用于向上述被处理基板的背面导入惰性气体的第二气体供给路，该第二气体供给路相对于上述被处理基板的中心轴呈轴对称。

主权项

一种湿式处理装置，是一种将被处理基板保持在工作台上，并使上述工作台旋转从而进行湿式处理的湿式处理装置，其特征在于，上述被处理基板构成为：通过其中心从上述工作台的旋转中心偏离，并且至少使用向该被处理基板的背面排放气体的伯努利吸盘将其保持在上述工作台上，从而上述被处理基板随着上述工作台的旋转而偏心旋转，在上述工作台内的旋转轴部分设置有上述伯努利吸盘所使用的第一气体供给路，在上述工作台还设置有与上述第一气体供给路连通，并用于向上述被处理基板的背面导入气体的第二气体供给路，该第二气体供给路相对于上述被处理基板的中心轴呈轴对称。