[发明专利]气相生长装置

摘要

本发明提供一种能够使外齿轮和内齿轮自动成为啮合状态的自转公转型的气相生长装置。在该气相生长装置中，在在圆盘状的基座的外周部周向上设有的多个能够旋转的外齿轮构件，在该外齿轮构件和具有与该外齿轮构件啮合的内齿轮的环状的固定内齿轮构件中的至少任意一个齿轮构件的齿侧面上设置有引导斜面，在两齿轮构件从非啮合状态的位置移动到啮合状态的位置时，该引导斜面与另一个齿轮构件的齿侧面抵接而将两齿轮构件引导成啮合状态。

主权项

一种气相生长装置，其具有自转公转机构，该自转公转机构包括能够旋转地设在腔室内的圆盘状的基座、在该基座的外周部周向设置的能够旋转的多个外齿轮构件、具有与该外齿轮构件啮合的内齿轮的环状的固定内齿轮构件，其中，将上述基座及上述内齿轮构件中的至少任意一个形成为，能够在使上述外齿轮构件和上述内齿轮构件相互啮合的啮合状态的位置和使该两齿轮构件在旋转轴线方向上分开的非啮合状态的位置之间沿旋转轴线方向移动；并且，在两齿轮构件中的至少任意一个齿轮构件的齿侧面上设有引导斜面，在该两齿轮构件从上述非啮合状态的位置移动到了上述啮合状态的位置时，该引导斜面用于与该两齿轮构件中的另一个齿轮构件的齿侧面抵接并将两齿轮构件引导成上述啮合状态。