[发明专利]透明导电膜和透明导电膜层叠体及其制造方法、以及硅系薄膜太阳能电池

摘要

本发明提供在制造高效率的硅系薄膜太阳能电池时有用的、耐氢还原性优异、光封闭效果优异的透明导电膜和使用其的透明导电膜层叠体及其制造方法，将该透明导电膜和使用其的透明导电膜层叠体作为电极使用的硅系薄膜太阳能电池。本发明提供透明导电膜等，该透明导电膜的特征在于，以氧化锌为主成分，且含有选自铝和镓中的1种以上的添加金属元素，其含量在下述式(1)所示的范围内，并且表面粗糙度(Ra)为35.0nm以上，表面电阻为65Ω/□以下。-[Al]+0.30≤[Ga]≤-2.68×[Al]+1.74...(1)(其中，[Al]是由Al/(Zn+Al)的原子数比(％)表示的铝含量，另一方面，[Ga]是由Ga/(Zn+Ga)的原子数比(％)表示的镓含量)。

主权项

一种透明导电膜，其特征在于，以氧化锌为主成分，且含有选自铝和镓中的1种以上的添加金属元素，其含量在下述式(1)所示的范围内，并且表面粗糙度Ra为35.0nm以上，表面电阻为65Ω/□以下，‑[Al]+0.30≤[Ga]≤‑2.68×[Al]+1.74...(1)其中，[Al]是由Al/(Zn+Al)的原子数比表示的铝含量，另一方面，[Ga]是由Ga/(Zn+Ga)的原子数比表示的镓含量，所述原子数比以百分比表示。