[发明专利]HDD图案布植系统有效
| 申请号： | 201080009890.2 | 申请日： | 2010-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN102334161A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | M·A·孚德;J·纽曼;J·A·马林;D·J·霍夫曼;S·莫法特;S·文哈弗贝克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G11B5/73 | 分类号： | G11B5/73;G11B5/82;G11B5/84 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉;邢德杰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于形成具有经磁性图案化的表面的基板的方法及装置。在一基板上形成包含具有磁性性质的一种或多种材料的一磁层。该磁层经受一图案化制程，在图案化制程中改变该磁层的该表面的选定部分，以使得该经改变的部分具有与非改变部分不同的磁性性质而不改变该基板的构形。在该经图案化的磁层上方沉积一保护层及一润滑层。该图案化经由将基板暴露于具有变动形式的能量的若干制程来实现。本文揭示的装置及方法使得能够同时处理一基板的两个主表面或藉由翻转相继处理一基板的两个主表面。在一些实施例中，该基板表面的磁性性质可藉由等离子体暴露来均匀地改变，且随后藉由暴露于经图案化的能量来选择性地复原磁性性质。 | ||
| 搜索关键词： | hdd 图案 系统 | ||
【主权项】：
一种用于处理磁性基板的装置，包括：处理腔室；基板支撑件，所述基板支撑件包括提供于其上的多个基板位置；用于翻转基板以使得能够将每一基板的至少两个主表面暴露于所述处理腔室中的处理环境的构件；及用于改变每一基板的所述至少两个主表面的磁性性质的构件。
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