[发明专利]用于在电子器件制造中传输基板的机械手系统、装置及方法有效
| 申请号： | 201080008862.9 | 申请日： | 2010-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN102326244A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | I·克莱蒙曼;J·C·胡金斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B25J9/06;B25J9/04;B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉;钱孟清 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示基板传输系统、装置和方法。系统适于藉由将吊臂连杆转向邻近目的地的位置，接着驱动机械手组件来放下或拾起目的地处的基板，以有效放下或拾起目的地处的基板。在此还提出许多其他方面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子器件 制造 传输 机械手 系统 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电子器件处理系统，包括：腔室；机械手装置，容纳于所述腔室中且适于传输基板，所述机械手装置具有适于绕着旋转轴旋转的吊臂连杆和第一机械手组件，所述机械手组件进一步包括：上臂，所述上臂在偏离所述吊臂连杆的旋转轴的第一径向位置耦接至所述吊臂连杆；前臂，所述前臂耦接至所述上臂且适于相对于所述上臂旋转；机械腕构件，所述机械腕构件耦接至所述前臂且适于相对于所述前臂旋转；以及端部执行器，所述端部执行器包括在所述机械腕构件上，所述端部执行器适于承载所述基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
