[发明专利]多载置台光刻系统有效
| 申请号： | 201080007155.8 | 申请日： | 2010-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN102317865A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | J.沃尔瑟 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 曲莹 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 一种光刻式工件处理工具，包括：用于装载工件的装载区域(108)；和用于处理工件的处理区域(106)。该工件处理工具还包括配置于装载区域与处理区域之间的多载置台系统(10)。多载置台系统包括构造成在装载区域与处理区域之间移动的同时经过彼此的至少两个载置台(110、112)。所述至少两个载置台中的每一个构造成保持工件。 | ||
| 搜索关键词： | 多载置台 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻处理工具，包括：用于装载工件的装载区域；用于处理工件的处理区域；和配置于装载区域与处理区域之间的多载置台系统，所述多载置台系统包括构造成在装载区域与处理区域之间移动的同时经过彼此的至少两个载置台，所述至少两个载置台中的每一个构造成保持工件。
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