[发明专利]多载置台光刻系统

权利要求书

1.一种光刻处理工具，包括：

用于装载工件的装载区域；

用于处理工件的处理区域；和

配置于装载区域与处理区域之间的多载置台系统，所述多载置台系统包括构造成在装载区域与处理区域之间移动的同时经过彼此的至少两个载置台，所述至少两个载置台中的每一个构造成保持工件。

2.如权利要求1所述的工具，其中，所述至少两个载置台中的每一个构造成被上升和下降中的至少一种，以使所述至少两个载置台在装载区域与处理区域之间移动时经过彼此。

3.如权利要求1所述的工具，其中，所述至少两个载置台中的每一个安装在轴承上，所述轴承沿一轴提供棱柱运动并绕相同轴线提供旋转运动。

4.如权利要求1所述的工具，其中，所述至少两个载置台中的第一载置台在所述轴上枢转，以使第一载置台的一侧上升，从而使得所述至少两个载置台中的第二载置台从下方经过第一载置台。

5.如权利要求1所述的工具，其中，所述工具是图案生成器。

6.如权利要求1所述的工具，其中，所述工具是测量或检查工具中的至少一个。

7.如权利要求1所述的工具，其中，所述工具是扫描多光束系统。

8.如权利要求1所述的工具，其中，所述工具是包括一个或多个旋转光学臂的光学处理装置，所述一个或多个旋转光学臂包括构造成从一调制器向工件的表面中继图像信息的光学系统。

9.如权利要求1所述的工具，其中，所述至少两个载置台中的每一个构造成从上方或下方经过所述至少两个载置台中的另一个。

10.如权利要求1所述的工具，还包括：

至少第一机械手，其构造成抬升所述至少两个载置台中的第一载置台以便所述至少两个载置台中的第二载置台从下方经过第一载置台。

11.如权利要求1所述的工具，其中，所述多载置台系统还包括：

第一载置台组件，包括所述至少两个载置台中的第一和第二载置台，所述第一载置台组件构造成在装载区域与处理区域之间移动；和

第二载置台组件，包括所述至少两个载置台中的第三和第四载置台，所述第二载置台组件构造成在装载区域与处理区域之间移动；其中

第一载置台安装在第二载置台上，第三载置台安装在第四载置台上，并且

第一载置台构造成经由致动器上升或下降，以便第一载置台在装载区域与处理区域之间移动时从上方经过第三载置台。

12.如权利要求11所述的工具，其中，第二载置台和第四载置台在装载区域与处理区域之间移动时在相同或大致相同的垂直高度经过彼此。

13.如权利要求1所述的工具，其中，所述至少两个载置台中的第一载置台安装在第一可垂直致动轴上，而所述至少两个载置台中的第二载置台安装在第二可垂直致动轴上；并且其中

第一和第二载置台构造成被上升和下降，以使第一和第二载置台中的一个在装载区域与处理区域之间移动时从下方经过第一和第二载置台中的另一个。

14.如权利要求1所述的工具，其中，所述至少两个载置台中的第一载置台小于所述至少两个载置台中的第二载置台，并且第一载置台构造成在装载区域与处理区域之间移动时从下方经过第二载置台。

15.一种用于处理工件的光刻方法，该方法包括：

将第一工件装载到至少两个载置台中的第一载置台上；

使第一载置台向处理单元移动；

处理第一工件；和

将第二工件装载到所述至少两个载置台中的第二载置台上；其中

第一工件受到处理的时间与装载第二工件的时间至少部分地重叠。

16.如权利要求15所述的方法，其中，当向处理单元移动时，第一载置台从上方或下方经过第二载置台。

17.如权利要求16所述的方法，还包括：向处理单元移动第二载置台；和将第一载置台移动返回装载区域；其中

在第一和第二载置台经过彼此时，载置台中的至少一个的至少一侧被上升或下降，以能够使载置台经过。