[发明专利]多载置台光刻系统

说明书

相关申请的交叉引用

本专利申请要求2009年2月13日提交的临时美国专利申请No.61/202,289的优先权。

背景技术

现有技术的描述

在用于在工件(例如基片或晶片)上进行写入或形成图案的常规装置中，工件流程通常包括至少四个处理步骤：装载、测量、写入和卸载。如果这些处理步骤顺次地进行，系统资源存在空闲时间，导致较低的吞吐量。

为了提高系统资源的利用，可使用流水线式(pipelined)构造。具有多个基片承载台的装置能实现并行的动作，并减少系统资源的空闲时间。在一个示例装置中，两个载置台配置在单个棱柱轴线上，以便载置台从两相反端进入写入区域。然而，这种配置需要双份的装载和对准用系统和区域。

发明内容

示例性实施例提供多载置台系统，其中载置台可在装载区域与处理区域之间移动时经过彼此。这种示例性实施例只需单个装载区域和单个处理区域。

至少一个示例性实施例提供光刻处理工具。该工具包括：用于装载工件的装载区域；用于处理工件的处理区域；和配置在装载区域与处理区域之间的多载置台系统。多载置台系统包括构造成在装载区域与处理区域之间移动的同时经过彼此的至少两个载置台。所述至少两个载置台中的每一个构造成保持工件。

根据至少一些示例性实施例，所述至少两个载置台中的每一个可构造成从上方或下方经过所述至少两个载置台中的另一个。

根据至少一些示例性实施例，所述至少两个载置台中的每一个可构造成被上升和下降中的至少一种，以使所述至少两个载置台在装载区域与处理区域之间移动时经过彼此。

所述至少两个载置台中的每一个可安装在轴承上。轴承沿一轴提供棱柱运动(prismatic movement)，并绕一轴线提供旋转运动。工具可以是图案生成器、测量工具、检查工具、扫描多光束系统、或包括一个或多个旋转光学臂的光学处理装置，所述旋转光学臂包括构造成从调制器向工件的表面中继图像信息的光学系统。

附图说明

将参考附图来更详细地描述示例性实施例，附图中：

图1示出了一示例性实施例的多载置台系统；

图2示出了一示例性实施例的多载置台系统的一部分；

图3A-3E示出了一示例性实施例的多载置台系统的示例操作；

图4示出了另一示例性实施例的多载置台系统的示例操作；

图5示出了另一示例性实施例的多载置台系统的一部分；

图6示出了又一示例性实施例的多载置台系统的一部分；

图7示出了再一示例性实施例的多载置台系统的一部分；

图8示出了用于组合编码器输出的方法的一个示例性实施例；而

图9是示出根据一示例性实施例的用于处理工件的方法的流程图。

具体实施方式

现在将参考示出了一些示例性实施例的附图来更充分地描述示例性实施例。附图中，各层和区域的厚度是夸大的，以便于说明。各图中的相同附图标记代表相同元件。

具体的说明性实施例在本文公开。然而，本文所公开的特定结构和功能详情仅仅是为了描述示例性实施例的目的。示例性实施例可借多种变型进行实施，而不应该解释为只局限于本文给出的示例性实施例。

然而，应该理解的是，没有意图将示例性实施例限制于所公开的特定示例性实施例，相反，示例性实施例应覆盖落于适当范围内的所有变型、等同方案和替代方案。在整个附图的描述中，相同的标记指代相同的元件。

应该理解的是，虽然本文中可能使用第一、第二等术语来描述多种不同的元件，但是这些元件不应该被这些术语限制。这些术语只用于区别元件。例如，在不背离示例性实施例的范围的情况下，第一元件可称为第二元件，并且相似地，第二元件也可称为第一元件。如本文所使用的，术语“和/或”包括相关联的列举项目中的一个或多个的任一个和所有组合。

应该理解的是，当一元件被描述为“连接”或“连结”至另一元件时，它可以是直接连接或连结至另一元件，也可以存在中间元件。对比之下，当一元件被描述为“直接连接”或“直接连结”至另一元件时，则不存在中间元件。用于描述元件之间的关系的其它词语也应该以相同的方式解释(例如“之间”与“直接之间”、“相邻”与“直接相邻”等)。