[实用新型]传输系统以及包含该传输系统的等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201020631224.X | 申请日： | 2010-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN201893324U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 张金斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种传输系统及等离子体加工设备，该传输系统包括横梁以及沿所述横梁轴向设置的多个吸盘单元，所述吸盘单元包括垂直于所述横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，其中，n等于或大于2，每一个所述吸盘组件用于提取一个被加工工件。借助于多个吸盘单元上垂直于横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，传输系统一次操作可以实现n行电池片的传输。因此，传输系统的传输效率高，而且运行成本低。类似地，等离子体加工设备具有加工效率高、运行成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 系统 以及 包含 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种传输系统，包括横梁以及沿所述横梁轴向设置的多个吸盘单元，其特征在于，所述吸盘单元包括垂直于所述横梁轴向而进行排列的n个吸盘组件，其中，n等于或大于2，且每一个所述吸盘组件用于提取一个被加工工件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
