[实用新型]传输系统以及包含该传输系统的等离子体加工设备

说明书

技术领域

本实用新型属于光伏领域，涉及太阳能电池片的生产，具体涉及一种传输系统以及包含该传输系统的等离子体加工设备。

背景技术

太阳能作为一种绿色新能源，其储量丰富、使用清洁，成为解决人类目前所面临的能源危机和环境危机的必然选择。光伏发电和光热发电是人类利用太阳能的主要方式，其中，光伏发电是借助太阳能电池片直接将太阳光转换为电能。近年来，随着太阳能光伏发电成本的降低，对太阳能电池片的需求越来越大，这促使太阳能电池片生产企业不断地改进设备、提高生产效率，以应对不断扩大的市场需求。

为了提高生产效率，在加工太阳能电池片(下文称电池片)时，首先将多片电池片按一定的行距和间距(行距和间距由具体地工艺决定)放置在一载板上，然后将放置电池片的载板放入工艺腔室，这样，一个工艺周期即可完成多片电池片的加工。为了进一步提高加工效率，通常借助电池片传输系统(或龙门架传输系统)自动完成电池片在载板上的传输(取放)过程。图1为电池片传输系统的结构简图。请参阅图1，电池片传输系统包括一个横梁1、两个电动缸2、两个电机3以及与载板上一行电池片数量对应的多个吸盘组件4，每一个吸盘组件4可以提取一片电池片。其中，两个电动缸2水平设置且相互平行，沿电动缸2的轴向设有导轨21。横梁1设置在电动缸2的顶部，并且借助滑块(图中未示出)沿导轨21在装料台、载板5以及卸料台之间移动。两个电机3分别设置在两个电动缸2的一端。使用时，电机3驱动横梁1沿导轨21移动。多个吸盘组件4设置在固定板6上，固定板6通过连接板7固定在横梁1上，而且，固定板6的轴向与横梁1的轴向平行，从而使多个吸盘组件4沿横梁1的轴向设置。这样，电池片传输系统一次可以吸放载板5上的一行电池片。在固定板6和连接板7之间还设有气缸(图中未示出)，其中，固定板6与气缸的活塞连接，连接板7与气缸的底座连接。在气缸的作用下，吸盘组件4可以远离或靠近载板5，即可以在竖直方向实现升降。

图2为电池片传输系统中吸盘组件的结构简图。请参阅2，吸盘组件4包括四个接触吸盘41、一个非接触吸盘42以及一个吸盘固定件43。其中，非接触吸盘42设置在吸盘固定件43底部的中间位置，四个接触吸盘41对称地设置在非接触吸盘42底部的周边，具体地，可设置在吸盘固定件43底部的四个角部位置。非接触吸盘42采用非接触真空吸盘，其通过非接触吸盘管路421与气源(图中未示出)连接。当非接触吸盘42内通入气体后，非接触吸盘42的下方与被加工工件之间产生局部真空，从而使电池片受到朝向非接触吸盘42方向的吸引力，进而使电池片与接触吸盘41稳定接触。

图3为电池片传输系统的气路控制单元的结构图。请参阅图3，在非接触吸盘42与CDA(Clean Dry Air)气源(这里CDA气源可简称气源)之间设有气路控制单元，该气路控制单元包括调速阀(截速阀)44以及电磁阀45，而且，气源、电磁阀45、调速阀44以及非接触吸盘42依次连接。电磁阀45打开后，非接触吸盘42即与气源连通。调速阀44用于调节通入非接触吸盘42的气体流量，从而可以调节非接触吸盘42与电池片之间的局部真空压力的大小，进而可以调节作用在电池片上的吸引力的大小。

上述电池片传输系统的具体操作过程如下：在电机3的驱动下，横梁1移动到载板5的上方，吸盘组件4降下；闭合电磁阀45并调节调速阀44，使吸盘组件4吸起已加工电池片；吸盘组件4升起，横梁1在电机3的驱动下移动到卸料台；吸盘组件4降下，调节调速阀44减小吸引力，使已加工电池片被放置在卸料台上，然后关闭电磁阀45，并升起吸盘组件4；横梁1在电机3的驱动下移动到装料台；降下吸盘组件4，闭合电磁阀45并调节调速阀44，吸盘组件4自装料台吸起未加工电池片；升起吸盘组件4，横梁1在电机3的驱动下再次移动到载板5的上方；降下吸盘组件4，调节调速阀44逐渐减小吸引力，使未加工电池片被放置在载板5上，然后关闭电磁阀45，升起吸盘组件4。重复上述步骤，将未加工电池片传输至载板5上，并将载板5上的已加工电池片传输至卸料台。

然而，由于技术的进步，电池片在工艺腔室内的加工时间越来越短，导致上述电池片传输系统无法满足电池片的传输要求。因此，技术人员对上述电池片传输系统进行了改进。图4为改进后的电池片传输系统的结构简图。请参阅图4，电池片传输系统包括两个横梁1，四个电动缸2、四个电机3以及多个吸盘组件4。改进后的电池片传输系统实际上是将改进前的两套电池片传输系统简单地叠加，即将两套电池片传输系统沿载板5的长度方向设置。虽然改进后的电池片传输系统在一定程度上提高了电池片的传输效率，但其结构复杂，制造及运行成本较高。