[实用新型]一种等离子真空陶瓷镀膜装置无效
| 申请号： | 201020629050.3 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201890924U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄瑞安 | 申请（专利权）人： | 黄瑞安 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 廖平 |
| 地址： | 515735 广东省潮州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜装置，具体为一种等离子真空陶瓷镀膜装置。本实用新型的等离子真空陶瓷镀膜装置，其包括真空室装置、镀件工作装置和等离子体源，其中所述的真空室装置包括真空室，与真空室相连的真空泵，以及位于真空室上的进气口；所述的镀件工作装置包括了转动装置、位于转动装置上的镀件架、用于镀膜的工作电源、与工作电源相连的蒸发源，所述的蒸发源至少有两个。本实用新型相比于现有技术实现了等离子体均匀分布在镀件的周围，保证了镀件上的镀膜层厚度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 真空 陶瓷 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子真空陶瓷镀膜装置，其特征在于：其包括真空室装置、镀件工作装置、蒸发源和等离子体源，其中所述的真空室装置包括真空室，与真空室相连的真空泵，以及位于真空室上的进气口；所述的镀件工作装置包括了转动装置、位于转动装置上的镀件架；所述的蒸发源包括工作电源、与工作电源连接的蒸发源电极和绝缘件，所述的蒸发源至少为两个。
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