[实用新型]线圈连接组件，上电极装置和LED刻蚀机有效
| 申请号： | 201020602912.3 | 申请日： | 2010-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN201893315U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 李璐;韦刚;管长乐 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/04;H01J37/32;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种线圈连接组件，包括用于安装线圈的线圈支架；托盘，所述托盘的上表面形成有第一至第四凹槽；第一至第四线圈连接条，所述第一至第四线圈连接条分别容纳和设置在所述第一至第四凹槽内；和第一至第四连接柱，所述第一至第四连接柱设置在线圈支架的上表面与托盘的下表面之间以分别将第一至第四线圈连接条与所述线圈支架上的对应线圈相连。根据本实用新型实施例的线圈连接组件，圈连接条的空间布局整齐，高度减小，减小了连接条所需的空间，组装和拆卸非常方便，线圈连接条与线圈支架之间的空间增加，便于其他部件的维修。本实用新型还提出了一种具有上述线圈连接组件的上电极装置和具有该上电极装置的LED刻蚀机。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈 连接 组件 电极 装置 led 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种线圈连接组件，其特征在于，包括：用于安装线圈的线圈支架；托盘，所述托盘的上表面形成有第一至第四凹槽；第一至第四线圈连接条，所述第一至第四线圈连接条分别容纳和设置在所述第一至第四凹槽内；和第一至第四连接柱，所述第一至第四连接柱设置在所述线圈支架的上表面与所述托盘的下表面之间，且所述第一至第四连接柱分别连接所述第一至第四线圈连接条与所述线圈支架上的对应线圈。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020602912.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种小型洗衣机电机的无固定连接方式
- 下一篇：一种钌炭催化剂的制备方法
