[实用新型]线圈连接组件，上电极装置和LED刻蚀机

权利要求书

1.一种线圈连接组件，其特征在于，包括：

用于安装线圈的线圈支架；

托盘，所述托盘的上表面形成有第一至第四凹槽；

第一至第四线圈连接条，所述第一至第四线圈连接条分别容纳和设置在所述第一至第四凹槽内；和

第一至第四连接柱，所述第一至第四连接柱设置在所述线圈支架的上表面与所述托盘的下表面之间，且所述第一至第四连接柱分别连接所述第一至第四线圈连接条与所述线圈支架上的对应线圈。

2.根据权利要求1所述的线圈连接组件，其特征在于，所述第一至第四凹槽内分别形成有通孔，其中所述第一至第四连接柱的上端分别穿过所述通孔与所述第一至第四线圈连接条相连。

3.根据权利要求1所述的线圈连接组件，其特征在于，所述第一至第四凹槽为弧形槽。

4.根据权利要求3所述的线圈连接组件，其特征在于，所述第一至第四凹槽沿径向间隔开设置。

5.根据权利要求4所述的线圈连接组件，其特征在于，所述第一至第四凹槽同心。

6.根据权利要求4或5所述的线圈连接组件，其特征在于，相邻两个凹槽中外侧凹槽的弧长大于内侧凹槽的弧长。

7.根据权利要求1所述的线圈连接组件，其特征在于，所述第一至第四线圈连接条的上表面分别与所述托盘的上表面平齐。

8.一种上电极装置，其特征在于，包括：

线圈盒，所述线圈盒内限定有空腔，所述线圈盒的上端面敞开而下端面设有下开口；

石英盖，所述石英盖设置在所述下开口内，用于封闭所述下开口；

顶盖，所述顶盖设置在线圈盒的顶端且形成有上开口；

射频激发装置，所述射频激发装置设置在所述顶盖上；

线圈；和

线圈连接组件，其中所述线圈组件为根据权利要求1-7中任一项所述的线圈连接组件，其中所述线圈安装在所述线圈连接组件的线圈支架的下表面上，所述线圈支架安装在所述石英盖上，且所述线圈连接组件的第一至第四线圈连接条分别与所述射频激发装置相连。

9.根据权利要求8所述的上电极装置，其特征在于，所述线圈支架通过安装支架安装到所述石英盖上。

10.一种LED刻蚀机，其特征在于，包括根据权利要求8或9所述的上电极装置。