[实用新型]线圈连接组件，上电极装置和LED刻蚀机

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体技术，尤其是涉及一种线圈连接组件，具有该线圈连接组件的上电极装置和具有该上电极装置的LED刻蚀机。

背景技术

LED刻蚀机是LED光源生产过程中的重要的设备，GaN基外延层或蓝宝石衬底是刻蚀的主要对象，刻蚀的效果直接关系到光源芯片的质量高低，进而影响光源的质量。LED刻蚀机的组成主要包括传输和工艺两个模块，二者共同影响着刻蚀的效率或者设备的产能，刻蚀结果主要由工艺模块决定，LED刻蚀机的上电极装置的线圈结构决定了离子体分布的均匀性，进而影响基片的刻蚀效果。

图3示出了传统LED刻蚀机的上电极装置，其中线圈A15与线圈支架A14连接，连接柱A13的下端与线圈支架A14相连，连接条A3，A4，A11，A12分别将连接柱A13的上端与连接片A5，A6，A9，A10的下端连接，连接片A5，A6，A9，A10的上端与射频激发装置A8相连。射频激发装置A8通过线圈A15产生等离子体，决定了对晶片刻蚀的效果，线圈连接条的对称性以及线圈连接条与晶片的距离大小都对刻蚀效果具有重要的影响。

在上述传统上电极装置中，线圈连接条的空间布局凌乱，安装和拆卸复杂，线圈连接的对称性差；且在该上电极装置应用于刻蚀装置中时，由于线圈连接条与晶片的距离相对较小，使得线圈连接条与线圈盒内的其他功能部件相互干涉，等离子体分布均匀性差，对刻蚀产生不利影响。而且，随着线圈盒尺寸的减小，上电极装置的维护困难，因此对线圈连接条的布置提出了更高的要求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种空间布局整齐、组装、拆卸和维护方便的线圈连接组件。

本实用新型的另一目的在于提出一种具有上述线圈连接组件的上电极装置，该上电极装置结构紧凑，尺寸减小，维护方便，产生的等离子体均匀。

本实用新型的再一目的在于提出一种具有上述上电极装置的LED刻蚀机，该LED刻蚀 机对晶片的刻蚀均匀，晶片刻蚀质量高。

根据本实用新型第一方面的线圈连接组件，包括：用于安装线圈的线圈支架；

托盘，所述托盘的上表面形成有第一至第四凹槽；第一至第四线圈连接条，所述第一至第四线圈连接条分别容纳和设置在所述第一至第四凹槽内；和第一至第四连接柱，所述第一至第四连接柱设置在所述线圈支架的上表面与所述托盘的下表面之间，且所述第一至第四连接柱分别连接所述第一至第四线圈连接条与所述线圈支架上的对应线圈。

根据本实用新型实施例的线圈连接组件，由于设置了托盘，且线圈连接条分别容纳和设置在凹槽内，因此圈连接条的空间布置整齐，而且线圈连接条的尺寸减小，减小了所需的空间，且组装、拆卸和维护非常方便。同时，线圈连接柱的高度可以增加，增加了线圈连接条与线圈支架之间的空间，便于其他部件的维修，同时可以增加线圈连接条与线圈的距离，从而可以增加线圈连接条与晶片之间的距离，提高对晶片的处理效果。

另外，根据本实用新型上述实施例的线圈连接组件还可以具有如下附加的技术特征：

具体地，所述第一至第四凹槽内分别形成有通孔，其中所述第一至第四连接柱的上端分别穿过所述通孔与第一至第四线圈连接条相连。

可选地，所述第一至第四凹槽为弧形槽。

进而，所述第一至第四凹槽沿径向间隔开设置。

优选地，所述第一至第四凹槽同心。

具体地，相邻两个凹槽中外侧凹槽的弧长大于内侧凹槽的弧长。

优选地，第一至第四线圈连接条的上表面分别与所述托盘的上表面平齐。

根据本实用新型第二方面的上电极装置包括：线圈盒，所述线圈盒内限定有空腔，所述线圈盒的上端面敞开而下端面设有下开口；石英盖，所述石英盖设置在所述下开口内，用于封闭所述下开口；顶盖，所述顶盖设置在线圈盒的顶端且形成有上开口；射频激发装置，所述射频激发装置设置在所述顶盖上；线圈；和线圈连接组件，其中所述线圈组件为根据本发明第一方面所述的线圈连接组件，其中所述线圈安装在所述线圈连接组件的线圈支架的下表面上，所述线圈支架安装在所述石英盖上，且所述线圈连接组件的第一至第四线圈连接条分别与所述射频激发装置相连。