[实用新型]硅片烘干可控装置无效
| 申请号： | 201020595378.8 | 申请日： | 2010-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN201837832U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王朝伟;孙海雁 | 申请（专利权）人： | 西北机器有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 李子安 |
| 地址： | 710119 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片烘干可控装置，包括石英加热模块以及与所述石英加热模块相接的氮气管路系统和用于控制所述石英加热模块工作状态的温区控制系统，所述石英加热模块上部中心设置有氮气入口，所述氮气入口与所述氮气管路系统相接。本实用新型结构简单，设计合理，能有效实现对基片的恒温烘干，且不对基片造成污染，同时应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 烘干 可控 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片烘干可控装置，其特征在于：包括石英加热模块以及与所述石英加热模块相接的氮气管路系统和用于控制所述石英加热模块工作状态的温区控制系统，所述石英加热模块上部中心设置有氮气入口(21)，所述氮气入口(21)与所述氮气管路系统相接。
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