[实用新型]硅片烘干可控装置

权利要求书

1.一种硅片烘干可控装置，其特征在于：包括石英加热模块以及与所述石英加热模块相接的氮气管路系统和用于控制所述石英加热模块工作状态的温区控制系统，所述石英加热模块上部中心设置有氮气入口(21)，所述氮气入口(21)与所述氮气管路系统相接。

2.按照权利要求1所述的硅片烘干可控装置，其特征在于：所述石英加热模块包括石英管(3)和套装在石英管(3)外侧的外围板(1)，所述石英管(3)外表面包覆有加热器一(4)、加热器二(5)和加热器三(6)，所述加热器一(4)、加热器二(5)和加热器三(6)的端部均位于外围板(1)外，所述外围板(1)与石英管(3)之间填充有隔热层(2)。

3.按照权利要求1所述的硅片烘干可控装置，其特征在于：所述氮气管路系统由氮气气源(14)以及依次设置在氮气气源(14)管路上的电磁阀(15)、精密压力开关(16)和精密流量计(17)。

4.按照权利要求1所述的硅片烘干可控装置，其特征在于：所述氮气管路系统包括上位机(7)、与上位机(7)输入端相接的温控仪一(8)、温控仪二(9)和温控仪三(10)以及与上位机(7)输出端相接的固态继电器一(11)、固态继电器二(12)和固态继电器三(13)，所述固态继电器一(11)与加热器一(4)相接，所述固态继电器二(12)与加热器二(5)相接，所述固态继电器三(13)与加热器三(6)相接。

5.按照权利要求4所述的硅片烘干可控装置，其特征在于：还包括与温控仪一(8)相接且用于实时检测加热器一(4)温度的热电偶一(18)、与温控仪二(9)相接且用于实时检测加热器二(5)温度的热电偶二(19)和与温控仪三(10)相接且用于实时检测加热器三(6)的热电偶三(20)。