[实用新型]一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机无效
| 申请号： | 201020565646.1 | 申请日： | 2010-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN201850307U | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;胡江;胡建德 | 申请（专利权）人： | 王殿儒;胡江;胡建德 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机，两个大型钟罩以同一水平轴线套在一起，真空室外形如一个U形磁铁以其中心轴线回转而成的回转体，真空室的开口端，安装有板材的转架移动门，门载于小车并在轨道上移动，出入真空室，大钟罩左右上部沿圆柱母线分别安装13-26台电弧蒸发离化源，室侧部有真空抽气系统排气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 中空 卧式 真空 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机，其特征是真空镀膜室是中空横卧式，真空室相当于两个直径不同的钟罩，对同一水平中心线对称套在一起，其真空室剖面犹如一横卧的U字形，需镀的板材在转架上微弯围成筒形，真空镀膜室门中心牢固固定小钟罩，由真空镀膜室门在小车上推入真空室，镀膜室左右上方安装了13～26台多弧蒸发离化源，对板材镀覆，整个真空室的真空度由抽气系统保证。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于王殿儒;胡江;胡建德，未经王殿儒;胡江;胡建德许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020565646.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：改进结构的标志塔
- 下一篇：存储器模块以及存储器用辅助模块
- 同类专利
- 专利分类
