[实用新型]一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机

说明书

技术领域：

本实用新型涉及在大面积金属板材上离子镀金属氮化物，或金属氧化物，采用很多个电弧等离子体蒸发离化源组成离子镀膜机，属于物理气相沉积技术领域。 

背景技术：

目前，国内外进行镀覆大面积板材的真空镀膜机，基本上有两大类，即立式筒状真空镀膜室，由于建筑用板材面积大，所以采用筒状尺寸较大，如Φ1500x3000，配多达52个电弧蒸发离化源，也有Φ3800x1500，配26个上述源。见专利CN9424337多蒸发源离子镀膜机。 

还有是流水线列车隧道式，一张张斜立着的板材，依次从大气经真空锁通过左真空室至真空镀膜室，再经右真空室，右移至真空锁，然后出炉，见专利CN 01219841. 

上述两类镀膜机均与本专利结构大为不同，本专利是卧式真空镀膜室，而且是中空横卧式，中空真空室实际是一个U形截面按纵轴线回转的回转体，传统立式机设备由于高度很高，从而使装吊板材需要生产厂房高度更高，一般要7m高，或将设备挖地安装，劳动条件较苛刻。采用另一类流水线列车隧道式，斜立板材经过镀膜室，属于扫描式镀覆，此设备庞大，运动结构复杂，制造成本高。 

本实用新型的技术方案是卧式中空真空镀膜式。由于横卧，降低了车间使用高度，又采用横卧双钟罩相套合，镀膜空间只是两钟罩的间夹空间，抽真空空间大为缩小，对长时间大规模生产，提高了经济性。 

与现有技术比较，本实用新型有以下诸优点： 

(1)由于镀膜空间小，易于控制电弧蒸发距离和原料气量，板材上镀制的膜层致密，厚度均匀，结合力强，且改善劳动条件，对环境影响小，节约能源，属于低碳技术。 

(2)设备结构简单，加上两个大型钟罩，以同一中心轴线安装，小钟罩下焊有支撑杆，加工方便。 

(3)适合于工业化镀覆大面积板材生产，板材装料和下料均在镀膜室外小车上完成，易于生产操作。 

发明内容：

本实用新型是一台真空室是中空横卧式的离子镀膜机，两个大型钟罩以同一水平轴线安装，中空是指若只一个大钟罩真空室空间，由于有了小钟罩室加入，挖掉了小钟罩空间成中空了，任何一个包含中心线的剖面均为横卧式的U形，或者说镀膜室外形相当于一个马蹄形磁铁以其中心轴线回转，则呈镀膜空间。 

横卧式中空真空室的开口端，由安装有板材的转架的移动门，门载于由小车，在轨道上对准真空室移动，将板材装入室内并关闭真空室，真空室外钟罩的左上部和右上部沿圆柱母线分别安装13～26台电弧等离子体蒸发离化源，安装在转架上每炉可装卡1.22mx3.05m板四张，或1.22mx2.44m板六张，或1.22mx4m板两张和1.22mx3.05m板两张。 

真空室侧部有抽气口，接通到真空排气系统。 

附图说明：

图1为中空横卧式真空室的离子镀膜机结构示意图 

图中1-真空镀膜室外钟罩 

    2-工件转架 

    3-滚动绝缘支撑 

    4-真空镀膜室内钟罩 

    5-电弧等离子体蒸发源 

    6-真空室门 

    7-带滚轮小车 

    8-小车运行轨道 

    9-转架驱动电机 

    10-真空抽气系统 

    11-镀膜用原料气供气管 

    12-包覆于转架的板材 

具体实施方式：

本实用新型的双钟罩形中空横卧式真空室离子镀膜机，由图1表示其结构，真空镀膜室1呈中空横卧形，实际是两个不同直径的钟罩以同一轴上相套，其间的空间为真空室，该真空室为一横卧U字形，以上述同一轴线回转成回转体。 

工件转架2固定于真空镀膜室门6上，真空室内钟罩4牢固固定于真空室门6，门6安装在带滚轮小车7上，在轨道8上运行被推入真空室的外钟罩1。 

镀覆过程进行时，先由真空排气系统10排气，待达到所需镀膜真空度后，由供气管11输入原料气，再开启26台电弧蒸发离化源5对包覆在转架2上的板材12进行离子喷射镀覆。 

工件转架2由驱动电机9转动。待镀覆达工艺所需时间，则完成镀覆，按反方向程序出炉，关机。 

本实用新型已作为本公司产品推入市场。