[实用新型]一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机无效
| 申请号： | 201020565646.1 | 申请日： | 2010-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN201850307U | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;胡江;胡建德 | 申请（专利权）人： | 王殿儒;胡江;胡建德 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 中空 卧式 真空 离子 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有中空横卧式真空室的离子镀膜机，其特征是真空镀膜室是中空横卧式，真空室相当于两个直径不同的钟罩，对同一水平中心线对称套在一起，其真空室剖面犹如一横卧的U字形，需镀的板材在转架上微弯围成筒形，真空镀膜室门中心牢固固定小钟罩，由真空镀膜室门在小车上推入真空室，镀膜室左右上方安装了13～26台多弧蒸发离化源，对板材镀覆，整个真空室的真空度由抽气系统保证。
2.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于转架每炉可装卡1.22mx3.05m板四张，或1.22x2.44m板六张，或1.22mx4m板两张和1.22mx3.05m板两张。
3.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于真空室内壁套在小钟罩上套有一可滑动滚珠轴环，以作为悬臂梁转架的悬端支撑，这个可滑动可转动支撑随时可与转架改变成头尾双支点梁负重转架。
4.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于镀膜室外钟罩套内直径达2.6m-3.8m内钟罩外直径相应为1.8m-2.4m。
5.如权利要求1所述的离子镀膜机，其特征在于真空镀膜室结构相同，但将整个室转90°，成为立式，上开门盖，将小钟罩及转架均由吊车吊出大钟罩或放入大钟罩真空室。
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