[实用新型]有效提高硅烷法多晶硅硅棒生长速度的系统

摘要

本实用新型公开一种能有效降低硅烷法多晶硅硅棒生长速度的系统。它包括混合气体预热器、还原炉、出口尾气冷却器、出口尾气过滤器、压缩机冷却器、压缩机进口过滤器、压缩机、分离系统、三通阀、返回气体管线，混合气体预热器一端、还原炉、出口尾气冷却器、出口尾气过滤器、压缩机冷却器、压缩机进口过滤器、压缩机、三通阀、分离系统一端顺次相连，三通阀与返回气体管线一端相连，离系统另一端与混合气体预热器另一端和返回气体管线另一端相连。本实用新型节省了在分离系统中的能源损耗，提高还原炉的反应效率，加快了硅棒的生长速度。减少生产成本，提高生产效率。

主权项

一种有效提高硅烷法多晶硅硅棒生长速度的系统，其特征在于包括混合气体预热器(1)、还原炉(2)、出口尾气冷却器(3)、出口尾气过滤器(4)、压缩机冷却器(5)、压缩机进口过滤器(6)、压缩机(7)、分离系统(8)、三通阀(9)、返回气体管线(10)，混合气体预热器(1)一端、还原炉(2)、出口尾气冷却器(3)、出口尾气过滤器(4)、压缩机冷却器(5)、压缩机进口过滤器(6)、压缩机(7)、三通阀(9)、分离系统(8)一端顺次相连，三通阀(9)与返回气体管线(10)一端相连，离系统(8)另一端与混合气体预热器(1)另一端和返回气体管线(10)另一端相连。