[实用新型]有效提高硅烷法多晶硅硅棒生长速度的系统

权利要求书

1.一种有效提高硅烷法多晶硅硅棒生长速度的系统，其特征在于包括混合气体预热器(1)、还原炉(2)、出口尾气冷却器(3)、出口尾气过滤器(4)、压缩机冷却器(5)、压缩机进口过滤器(6)、压缩机(7)、分离系统(8)、三通阀(9)、返回气体管线(10)，混合气体预热器(1)一端、还原炉(2)、出口尾气冷却器(3)、出口尾气过滤器(4)、压缩机冷却器(5)、压缩机进口过滤器(6)、压缩机(7)、三通阀(9)、分离系统(8)一端顺次相连，三通阀(9)与返回气体管线(10)一端相连，离系统(8)另一端与混合气体预热器(1)另一端和返回气体管线(10)另一端相连。

2.根据权利要求1所述的一种有效提高硅烷法多晶硅硅棒生长速度的系统，其特征在于在所述的离系统(8)另一端与混合气体预热器(1)另一端和返回气体管线(10)另一端之间设有氢气流量计(F1)、硅烷流量计(F2)和分析系统(S2)，在出口尾气过滤器(4)与压缩机冷却器(5)之间设有分析系统(S1)，在三通阀(9)与返回气体管线(10)之间设有返回气体流量计(F3)。