[实用新型]高热效单晶炉无效
申请号: | 201020558027.X | 申请日: | 2010-10-13 |
公开(公告)号: | CN201801633U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 钟小平 | 申请(专利权)人: | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 311227 浙江省杭州市萧山*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高热效单晶炉,包括炉壳、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶,所述加热器上方设有上反射板,加热器下方设有下反射板,上反射板和下反射板为圆环形,上反射板圆环外侧固定于保温桶内侧,下反射板圆环外侧固定于加热器基座内侧,上反射板与加热器上沿垂直间隙为15mm-20mm,下反射板与加热器下沿垂直间隙为15mm-20mm。解决了现有单晶炉采用热辐射的方式对坩埚进行加热,但加热器上、下沿处无阻挡,热量容易损失的问题。 | ||
搜索关键词: | 高热 效单晶炉 | ||
【主权项】:
一种高热效单晶炉,包括炉壳(1)、石英坩埚(3)、石墨坩埚(2)、加热器(5)和保温桶,其特征是,所述加热器(5)上方设有上反射板(10),加热器(5)下方设有下反射板(11),上反射板(10)和下反射板(11)为圆环形。
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