[实用新型]高热效单晶炉无效

专利信息
申请号: 201020558027.X 申请日: 2010-10-13
公开(公告)号: CN201801633U 公开(公告)日: 2011-04-20
发明(设计)人: 钟小平 申请(专利权)人: 浙江舒奇蒙能源科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 尉伟敏
地址: 311227 浙江省杭州市萧山*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种高热效单晶炉,包括炉壳、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶,所述加热器上方设有上反射板,加热器下方设有下反射板,上反射板和下反射板为圆环形,上反射板圆环外侧固定于保温桶内侧,下反射板圆环外侧固定于加热器基座内侧,上反射板与加热器上沿垂直间隙为15mm-20mm,下反射板与加热器下沿垂直间隙为15mm-20mm。解决了现有单晶炉采用热辐射的方式对坩埚进行加热,但加热器上、下沿处无阻挡,热量容易损失的问题。
搜索关键词: 高热 效单晶炉
【主权项】:
一种高热效单晶炉,包括炉壳(1)、石英坩埚(3)、石墨坩埚(2)、加热器(5)和保温桶,其特征是,所述加热器(5)上方设有上反射板(10),加热器(5)下方设有下反射板(11),上反射板(10)和下反射板(11)为圆环形。
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