[实用新型]高热效单晶炉无效
| 申请号: | 201020558027.X | 申请日: | 2010-10-13 |
| 公开(公告)号: | CN201801633U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
| 发明(设计)人: | 钟小平 | 申请(专利权)人: | 浙江舒奇蒙能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
| 地址: | 311227 浙江省杭州市萧山*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 高热 效单晶炉 | ||
1.一种高热效单晶炉,包括炉壳(1)、石英坩埚(3)、石墨坩埚(2)、加热器(5)和保温桶,其特征是,所述加热器(5)上方设有上反射板(10),加热器(5)下方设有下反射板(11),上反射板(10)和下反射板(11)为圆环形。
2.根据权利要求1所述高热效单晶炉,其特征是,所述上反射板(10)圆环外侧固定于保温桶内侧,下反射板(11)圆环外侧固定于加热器(5)基座内侧。
3.根据权利要求1或2所述高热效单晶炉,其特征是,所述上反射板(10)与加热器(5)上沿垂直间隙为15mm-20mm,下反射板(11)与加热器(5)下沿垂直间隙为15mm-20mm。
4.根据权利要求1或2所述高热效单晶炉,其特征是,所述上反射板(10)和下反射板(11)的材质为碳/碳纤维。
5.根据权利要求3所述高热效单晶炉,其特征是,所述上反射板(10)和下反射板(11)的材质为碳/碳纤维。
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