[实用新型]高热效单晶炉

说明书

技术领域

 本实用新型涉及半导体生长设备领域，尤其涉及一种单晶炉。

背景技术

现有单晶炉包括炉壳、石英坩埚、石墨坩埚、加热器、保温层、导流管、坩埚托盘，坩埚托盘上面设置石墨坩埚，石墨坩埚的里面设置石英坩埚，石英坩埚的里面放置熔化物，石墨坩埚的外面设置加热器，加热器的外面设置保温层，保温层的外面设置炉壳，单晶炉内设有加热器，采用热辐射的方式对坩埚进行加热，但加热器上、下沿处无阻挡，热量容易损失。

中国专利公告号CN201411508Y，公告日2010年2月24日，公告了一种直拉单晶炉，由晶体提升电机、坩埚转动电机、炉壳、石英坩埚、石墨坩埚、加热器、保温层、导流管、掺杂托盘、坩埚托盘组成，所述的坩埚转动电机的上部设置坩埚托盘，坩埚托盘上面设置石墨坩埚，石墨坩埚的里面设置石英坩埚，石英坩埚的里面放置熔化物，石墨坩埚的外面设置加热器，加热器的外面设置保温层，保温层的外面设置炉壳，炉壳的下端设置坩埚转动电机，炉壳的上端设置晶体提升电机，坩埚转动电机、晶体提升电机均设置在炉壳的外部，晶体从熔化物中生长出后，由晶体提升电机缓慢向上提升。该单晶炉内设有加热器，采用热辐射的方式对坩埚进行加热，但加热器上、下沿处无阻挡，热量容易损失。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种高热效单晶炉，解决了现有单晶炉采用热辐射的方式对坩埚进行加热，但加热器上、下沿处无阻挡，热量容易损失的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种高热效单晶炉，包括炉壳、石英坩埚、石墨坩埚、加热器和保温桶，所述加热器上方设有上反射板，加热器下方设有下反射板，上反射板和下反射板为圆环形。加热器上方设有上反射板，加热器下方设有下反射板，反射加热器上、下沿处热辐射，减少通过加热器上、下沿处损失的热量，加热器为圆桶形，上反射板和下反射板为圆环形，最大范围的反射加热器上、下沿处热辐射，减少通过加热器上、下沿处损失的热量。

作为优选，所述上反射板圆环外侧固定于保温桶内侧，下反射板圆环外侧固定于加热器基座内侧。上反射板圆环外侧固定于保温桶内侧，下反射板圆环外侧固定于加热器基座内侧，便于上、下反射板有效安装固定，安装于指定位置。

作为优选，所述上反射板与加热器上沿垂直间隙为15mm-20mm，下反射板与加热器下沿垂直间隙为15mm-20mm。加热器上、下沿垂直间隙为15mm-20mm处，热辐射较为集中，当上反射板与加热器上沿垂直间隙为15mm-20mm，下反射板与加热器下沿垂直间隙为15mm-20mm时，上、下反射板对热辐射反射效果好，热量损失小，且留有间隙，不会与加热器相碰。

作为优选，所述上、下反射板的材质为碳/碳纤维。上、下反射板的材质为碳/碳纤维，碳/碳纤维的反射板，表面非常光滑，对热辐射的反射效果极好，最大程度的反射热辐射，减少热量损失。

本实用新型的有益效果是：增加上、下反射板，反射加热器上、下沿处热辐射，减少通过加热器上、下沿处损失的热量，加热器为圆桶形，上、下反射板为圆环形，最大范围的反射加热器上、下沿处热辐射，减少通过加热器上、下沿处损失的热量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1、炉壳，2、石墨坩埚，3、石英坩埚，4、坩埚托盘，5、加热器，6、坩埚转动轴，7、上保温桶，8、中保温桶，9、下保温桶，10、上反射板，11、下反射板，12、籽晶夹头，13、籽晶，14、保温层，15、导流管。

具体实施方式

下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述：