[实用新型]多样品断面研磨台及研磨装置无效
| 申请号： | 201020551088.3 | 申请日： | 2010-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN201815948U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 裘莺;廖炳隆 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多样品断面研磨台，包括连接为一体的固定部、粘贴部，固定部的厚度大于粘贴部；固定部设有螺纹通孔。所述粘贴部的长度小于硅片样品的直径。所述固定部与粘贴部的连接处呈直角。本实用新型能够同时对多个样品进行断面研磨，并可用光学显微镜、扫描电镜进行观察，从而实现快速、高效地进行断面样品的制备，提高工作效率。本实用新型还公开了一种设置有多样品断面研磨台的研磨装置。 | ||
| 搜索关键词： | 多样 断面 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种多样品断面研磨台，其特征在于：包括连接为一体的固定部、粘贴部，固定部的厚度大于粘贴部；固定部设有螺纹通孔。
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