[实用新型]多样品断面研磨台及研磨装置无效
| 申请号： | 201020551088.3 | 申请日： | 2010-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN201815948U | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 裘莺;廖炳隆 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多样 断面 研磨 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多样品断面研磨台，其特征在于：包括连接为一体的固定部、粘贴部，固定部的厚度大于粘贴部；固定部设有螺纹通孔。
2.根据权利要求1所述的多样品断面研磨台，其特征在于：所述粘贴部的长度小于硅片样品的直径。
3.根据权利要求1或2所述的多样品断面研磨台，其特征在于：所述固定部与粘贴部的连接处呈直角。
4.一种设置有权利要求1所述的多样品断面研磨台的研磨装置，其特征在于：包括多个断面研磨台、研磨座，多个断面研磨台沿厚度方向叠加，多个断面研磨台通过螺丝与研磨座固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹NEC电子有限公司，未经上海华虹NEC电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020551088.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：传动同步调整装置
- 下一篇：管道燃气员工仿真培训操作台
