[实用新型]研磨垫清洗臂的罩子有效
| 申请号： | 201020506080.5 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201856167U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 高思玮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种罩子。这种研磨垫清洗臂的罩子，包括罩子主体，所述罩子主体的周边设有若干孔洞，每个孔洞内设有用于吸附被罩部件的磁铁。本实用新型研磨垫清洗臂的罩子，通过将原来的罩子主体和被罩部件之间的螺丝连接改成磁铁吸附连接，不但使得安装和拆卸更加方便，而且可有效避免螺丝脱落造成破片事故发生；通过在磁铁上方设置指示剂可便于使用人员及时发现磁铁是否遇水，从而防止磁铁生锈，保证罩子主体和被罩部件有效吸附连接；通过设置万向接头定向槽来代替现有的导引基础，可以有效增加研磨垫清洗臂内的可利用空间；以及通过采用双密封结构代替现有的单密封环结构具有更好的密封效果，有效防止液体渗入，造成被罩部件锈蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 清洗 罩子 | ||
【主权项】：
一种研磨垫清洗臂的罩子，包括罩子主体，其特征在于，所述罩子主体的周边设有若干孔洞，每个孔洞内设有用于吸附被罩部件的磁铁。
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