[实用新型]研磨垫清洗臂的罩子有效
| 申请号： | 201020506080.5 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201856167U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 高思玮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 清洗 罩子 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨垫清洗臂的罩子，包括罩子主体，其特征在于，所述罩子主体的周边设有若干孔洞，每个孔洞内设有用于吸附被罩部件的磁铁。
2.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述孔洞均布于罩子主体的周边。
3.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，孔洞的开口处设有螺栓。
4.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述螺栓和磁铁之间设有遇水变色的指示剂。
5.如权利要求4所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述指示剂是CuSiO4。
6.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述罩子主体采用透明亚克力材料。
7.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述孔洞有10-30个。
8.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述罩子主体的内侧设有万向接头定向槽。
9.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述罩子主体和被罩部件之间的水平向的接触面间设有空心密封环。
10.如权利要求1所述的研磨垫清洗臂的罩子，其特征在于，所述罩子主体和被罩部件之间的竖直向的接触面间还设有T型密封环。
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