[实用新型]晶片的晶粒分选装置

摘要

本实用新型公开了一种晶片的晶粒分选装置，该分选装置的进料模块设有置物座供晶片置放，以透过移动滑轨驱动置物座活动位移，再由进料模块外侧所设移送单元，通过取料旋臂由置物座上取出晶片的晶粒，并移送至送料模块的承接座的承载平台的薄膜上，且承载平台的薄膜底部是受到固定于机台上的支撑器予以顶持，而固定式支撑器并不会随着承接座移动，则可顶持薄膜的每一处位置，供晶粒置放时不会破坏薄膜，即利用位移滑轨驱动承接座的承载平台活动位移，以将薄膜上摆放的晶粒移送至外部进行后续加工处理作业。

主权项

一种晶片的晶粒分选装置，包括进料模块、移送单元及送料模块，其特征在于：该进料模块设有供预设物料置放的置物座，且设有供置物座活动位移的移动滑轨；该移送单元设置于进料模块外侧，设有由置物座上取出物料并向外移送的取料旋臂，再设有驱动取料旋臂旋动位移的机架；该送料模块设于进料模块、移送单元的相对外侧，并设有承接取料旋臂取出物料的承接座，而承接座设有置放薄膜供摆放物料的承载平台，则承接座一侧设有驱动承载平台、薄膜活动滑移的位移滑轨，再于承载平台底部设有固定于机台上的固定式支撑器，并不会随着承接座、承载平台移动，以透过固定式支撑器顶持薄膜。