[实用新型]晶片的晶粒分选装置有效

专利信息
申请号: 201020273408.3 申请日: 2010-07-27
公开(公告)号: CN201871496U 公开(公告)日: 2011-06-22
发明(设计)人: 陈光诚;黄于珊 申请(专利权)人: 威控自动化机械股份有限公司
主分类号: B07C5/36 分类号: B07C5/36;B07C5/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 晶片 晶粒 分选 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型为有关一种晶片的晶粒分选装置,尤指在承接座的承载平台底部设有固定于机台上支撑器的分选装置,当承载平台受到位移滑轨驱动时,该支撑器并不会随着承接座、承载平台移动,即可由位移滑轨带动承载平台、薄膜在固定式支撑器上移动。

背景技术

随着科技进步、电子产业的蓬勃发展,电子相关产品的大量制造、生产,也使得许多电子产品充斥在生活环境周遭,而各式的电子产品是透过各式电子构件、集成电路等进行精密布局,以发挥既定的运作效能,至于各种电子构件或集成电路等,是透过晶片的制造,再进行后续的相关加工作业所成型,则在晶片的制造技术中,是将各种构件或集成电路分别形成于晶片的表面或内部,而晶片上被每一独立构件或集成电路所占据的区域,即称为芯片或晶粒,通常在晶片上会有二百至三百或多至数千个芯片或晶粒,也因此造成晶片的尺寸产生大、小的变化;且在晶片制造完成后,必须针对晶片上的每一个芯片或晶粒进行检测,把损坏或故障的芯片或晶粒舍去,以将完整、正常的芯片或晶粒取出,再进行后续的封装作业。

欲将晶片上多个芯片或晶粒取出,在目前的晶片分选机构,请参阅图7和图8所示,是在分选作业平台A上分别设有进料区A1、工作区A2及取料杆A3,将制造完成的晶片B置于进料区A1,以进料区A1受到第一滑轨组A11的带动,而移动至取料杆A3侧边,再透过取料杆A3将晶片B上的晶粒B1取出,且将晶粒B1移送至工作区A2放置,由工作区A2的第二滑轨组A22所设的活动式支撑器顶持薄膜A21,供选出的晶粒B置放,再利用工作区A2由第二滑轨组A22的驱动,以将选出的晶粒B1移送至外部,但因进料区A1、工作区A2采相同高度的设计,造成相对活动的空间较小,且与取料杆A3之间的活动距离是固定的,并无法调整, 在实际作业进行中,犹存在诸多不便与困扰,如:

(1)分选作业平台A的进料区A1,受到第一滑轨组A11的驱动,将承载的晶片B供选料臂A3选取晶粒B1,而将挑选出的晶粒B1移送至工作区A2的薄膜A21上,且薄膜A21底部为利用固设于第二滑轨组A22上的支撑器作支撑,而于第二滑轨组A22带动工作区A2移动时,并连动支撑器一起滑动顶持薄膜A21,如此将造成薄膜A21的移动范围受到限制,供置放晶粒B1的区域也缩小。

(2)分选作业平台A的进料区A1与工作区A2,是采用相同高度的设计,则进料区A1受第一滑轨组A11驱动、工作区A2受到第二滑轨组A22驱动时,容易造成进料区A1与工作区A2的相互碰触,导致选料臂A3挑选晶粒B1的区域缩小。

是以,如何解决晶片的晶粒分选作业时,其工作区所设活动式支撑器的问题,即为从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在者。

实用新型内容

因此,创作人有鉴于上述的问题与缺失,乃搜集相关资料,经由多方评估及考虑,并以从事于此行业累积的多年经验,经由不断试作及修改,始设计出此种可配合各种尺寸晶片作位移调整,以方便晶粒取出作业的晶片的晶粒分选装置的创作专利诞生者。

本实用新型的主要目的在于提供一种晶片的晶粒分选装置,包括进料模块、移送单元及送料模块,其中,该进料模块设有供预设物料置放的置物座,且设有供置物座活动位移的移动滑轨;该移送单元设置于进料模块外侧,设有由置物座上取出物料并向外移送的取料旋臂,再设有驱动取料旋臂旋动位移的机架;该送料模块设于进料模块、移送单元的相对外侧,并设有承接取料旋臂取出物料的承接座,而承接座设有置放薄膜供摆放物料的承载平台,则承接座一侧设有驱动承载平台、薄膜活动滑移的位移滑轨,再于承载平台底部设有固定于机台上的固定式支撑器,并不会随着承接座、承载平台移动,以透过固定式支撑器顶持薄膜。

上述方案中,该进料模块于置物座上置放的预设晶片,是半导体晶片或发光二极管(LED)晶片。该进料模块的承接座与进料模块的置物座间, 形成预定距离的高度落差。

上述本实用新型的晶片的晶粒分选装置于实际使用时,为可具有下列各项优点,如:

(一)进料模块1的置物座11,是透过移动滑轨12的驱动,而承接座31的承载平台32、薄膜321则由位移滑轨33驱动,且薄膜321底部设有固定于机台上的支撑器322,在位移滑轨33驱动承接座31位移时,支撑器322并不会移动,以供薄膜321在移动时,每一处位置都可以移动至支撑器322上。

(二)承接座31的承载平台32、薄膜321底部设有固定于机台上的支撑器322,不会影响承接座31与置物座11之间的移动,可供取料旋臂22在置物座11上选取晶片4的更多个晶粒,且薄膜321上置放晶片4的晶粒的范围也较大。

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