[实用新型]一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置

摘要

本实用新型所公开的一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置，包括一机架、竖立于机架上的支架、支架二侧分别安装有晶片视觉系统镜头机构和支架式线路板视觉系统镜头机构、安装于机架二端可纵向和横向移动的晶圆盘XY轴移动平台和支架式线路板XY轴移动平台；晶圆盘XY轴移动平台上设有晶圆盘，支架式线路板XY轴移动平台上设有支架夹具，其中所述的晶片视觉系统镜头机构下方设有对应晶圆盘的拾取晶片装置，支架式线路板视觉系统镜头机构下方设有对应支架夹具的固放晶片装置；于拾取晶片装置和固放晶片装置之间设有旋转型输送盘机构。该装置拾取的摆幅很少，缩短了工作的时间，提高了生产的产能和效率等。

主权项

一种应用于晶固机的旋转型输送盘装置，包括一机架(1)、竖立于机架上的支架(2)、支架二侧分别安装有晶片视觉系统镜头机构(3)和支架式线路板视觉系统镜头机构(4)、安装于机架二端并分别位于晶片视觉系统镜头机构和支架式线路板视觉系统镜头机构下方的晶圆盘XY轴移动平台(5)和支架式线路板XY轴移动平台(6)；所述的晶圆盘XY轴移动平台和支架式线路板XY轴移动平台上各设有气缸控制其纵向或横向移动，晶圆盘XY轴移动平台上设有晶圆盘(7)，支架式线路板XY轴移动平台上设有支架夹具(8)，其特征在于：所述的晶片视觉系统镜头机构下方设有对应晶圆盘的拾取晶片装置(9)，支架式线路板视觉系统镜头机构下方设有对应支架夹具的固放晶片装置(10)；于拾取晶片装置和固放晶片装置之间设有旋转型输送盘机构(11)。