[实用新型]一种控温的半导体电学特性测试样品架

摘要

本实用新型公开了一种控温的半导体电学特性测试样品架，它由样品腔、控温基座和温度传感器组成。样品腔包含腔盖和腔体，腔盖上设有固定腔体的螺栓孔，用螺栓可将腔盖与腔体进行连接，腔体上设有多个接线端。控温基座固定在样品腔中并以高热导率的材料为机体，温度传感器插设在控温基座一侧通向基座下面的孔道内，控温基座上表面有一对装有弹性电极的接线端，其下表面则帖附着带加热器的绝缘导热片。此测试样品架使用方便、节约器材并能满足控温要求。

主权项

一种控温的半导体电学特性测试样品架，其特征在于，它包括：一个样品腔(23)，所述样品腔包含一个腔体(5)和腔盖(2)，所述腔体设有分别与控温基座(6)的加热器件(10)和(13)、测试电极(21b)、温度传感器(16)以及外界电源和仪表连接的接线端，在所述腔盖上设有用于固定腔盖的与腔体连接的孔，通过螺栓进行连接；一个控温基座，所述控温基座有一块固定在所述腔体中具有高导热率材料的片状体(15)，在所述片状体旁设有用于固定温度传感器的由一侧通向基座下面的孔道，在所述控温基座的上表面，装设一对与所述控温基座绝缘的电极接线端(20a)，以及分别与所述一对电极接线端连接的一对弹性电极(19a)、(22b)，并在所述一对电极接线端之间的所述控温基座表面上粘附一片绝缘(4)和导热(15)的薄层样品垫片，在所述控温基座的下表面则贴附一片用绝缘和导热薄片(11)、(14)作基片，并有三个电源引线端的加热器(10)和(13)，所述三个电源引线端有三根电源线分别与所述腔体的所述相应接线端连接；一个温度传感器，插接在所述温控基座的孔道中，所述温度传感器的输出端与所述腔体的所述相应接线端连接。