[发明专利]一种石英音叉的加工方法无效
| 申请号： | 201010617322.2 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102142823A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 任剑锋 | 申请（专利权）人： | 苏州普锐晶科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石英音叉的加工方法，其特征在于，加工步骤如下：A)原料片研磨，将原料片研磨至规定厚度；B)抛光，原料片表面抛光处理，使其成为镜面；C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶，利用光刻技术使光刻胶形成音叉形状；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。完成后的音叉尺寸为长度：3170～3185μm，宽度：495～515μm，厚度：125～145μm。本发明所述方法利用光刻腐蚀技术加工的石英音叉提高石英音叉的加工精度，不需要用到切割机，减少了对切割机的维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 音叉 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种石英音叉的加工方法，其特征在于，加工步骤如下：A)原料片研磨，将原料片研磨至一定厚度；B)抛光，将研磨完成的原料片表面抛光处理，使其成为镜面；C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶，利用光刻技术使光刻胶形成音叉的形状；D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。
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