[发明专利]一种石英音叉的加工方法无效
| 申请号： | 201010617322.2 | 申请日： | 2010-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102142823A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 任剑锋 | 申请（专利权）人： | 苏州普锐晶科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 音叉 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英音叉的加工方法，其特征在于，加工步骤如下：
A)原料片研磨，将原料片研磨至一定厚度；
B)抛光，将研磨完成的原料片表面抛光处理，使其成为镜面；
C)涂胶光刻，在原料片上涂上光刻胶，利用光刻技术使光刻胶形成音叉的形状；
D)腐蚀，将光刻后的原料片放入腐蚀液中；
E)清洗，洗去表面残留的光刻胶。
2.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤A中原料片研磨的厚度为135～155μm。
3.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤B中原料片抛光后的厚度为125～145μm。
4.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤C中所涂的胶层为光刻胶，此光刻胶为正性胶；放入光刻机种，利用光刻技术使光刻胶形成音叉形状；具体尺寸为长度：3170～3185μm，宽度：495～515μm。
5.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤D中的腐蚀液为氢氟酸(浓度为30％～50％)和氟化铵或氟化氢铵(浓度为30％～40％)的混合液，比例为氢氟酸∶氟化铵或氟化氢铵＝1∶1～1.5。
6.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于，所述步骤E中，采用浓度为10％碱性氢氧化钠溶液洗掉残留的光刻胶。
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